双电测数字式四探针测试仪是运用直线或方形四探针双位测量。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。利用电流探针、电压探针的变换,进行两次电测量,对数据进行双电测分析,自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响,它与单电测直线或方形四探针相比,大大提高度,特别是适用于斜置式四探针对于微区的测试。
规格型号
341
342
343
345
346
347
1.方块电阻范围
10-4~2×105Ω/□
10-4~2×103Ω/□
10-3~2×105Ω/□
10-3~2×103Ω/□
10-2~2×105Ω/□
10-2~2×103Ω/□
2.电阻率范围
10-5~2×106Ω-cm
10-5~2×104-cm
10-4~2×106Ω-cm
10-4~2×104-cm
10-3~2×106Ω-cm
3.测试电流范围
0.1μA,μA,0μA,100µA,1mA,10mA,100 mA
1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA
0.1μA,μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA
0.1μA,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100 mA
4.电流精度
±0.1%读数
±0.2%读数
±0.3%读数
5.电阻精度
≤0.3%
≤0.5%
6.显示读数
大屏液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率
7.测试方式
双电测量
8.工作电源
输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗:<30W
9.整机不确定性误差
≤3%(标准样片结果)
10.选购功能
选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台
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