场发射扫描电镜
1.工作条件:
1.1电源:
230V (+6%/-10%) /50Hz (+/-1%)
1.2运行环境温度:
17-23°C
1.3 运行环境:
相对湿度< 80% (无冷凝)
1.4 噪音: < 68dBC
1.5仪器运行的持久性:
可连续运行
2.场发射扫描电镜设备用途:
2.1该电镜主要用于直接观察导电、不导电样品的表面形貌及成分分析。
| 2.2要求该设备具有可观察含水样品的功能,并能在低真空以及更低真空度的条件下能观察二次电子像,以满足研究近似原始状态下相关样品的需求。
2.3 该电镜可作为一个微观实验室。对多种样品保持其原始状态下进行动态原位分析。
3.场发射扫描电镜技术规格:
3.1电子光学系统:
| 3.1.1分辨率: 二次电子 (SE) 像
| 3.1.1.1高真空模式:30 kV时1.0 nm;1 kV时3.0 nm
| 3.1.1.2低真空模式:30 kV时1.4 nm;3 kV时3.0 nm
| 3.1.1.3 环境真空模式 (ESEM):30kV 时 1.4nm
3.1.2 分辨率: 背散射电子 (BSE) 像:30kV时2.5nm
| 3.1.3 加速电压: 0.2kV-30KV
| 3.1.4放大倍数:6倍-100万倍 (四幅图像显示)
| 3.1.5 电子枪:Schottky肖特基场发射电子枪,Z大束流200nA
| 3.1.6 物镜光阑:物镜光阑应能自加热自清洁;无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑
| 3.1.7 二次电子和背散射电子成像系统: 自动调节和手动调节亮度、对比度
3.2样品室
| 3.2.1样品台:五轴马达驱动,全对中样品台
| 移动范围:X =100mm,Y =100mm,Z =60mm
| T = -5°to +70°
| R= 360°连续旋转
| 3.2.2 样品室尺寸: 左右内径284mm
| 3.2.3分析工作距离 10 mm
| 3.2.4重复精度:2um (X/Y 方向)
| 3.2.5 至少8个探测器 / 附件接口
3.3检测器:
| 3.3.1高真空模式二次电子检测器;
| 3.3.2低真空模式气体二次电子探头;
| 3.3.3 环境真空模式气体二次电子探头
| 3.3.4低电压高灵敏度背散射电子检测器;
| 3.3.5样品室红外CCD相机
3.4数字图像记录系统
| 3.4.1图像处理:Z大6144 x 4096像素
| 3.4.2图像显示:单幅图像显示或4幅图像同时显示 (四活动窗口)
| 3.4.3图像记录: TIFF,BMP或JPEG
| 3.4.4自动记录数字电影 (.avi) 功能
| 3.4.5 智能扫描 (256帧平均或积分, 线积分或平均, 隔行扫描)
| 3.4.6 漂移补偿帧积分
| 3.4.7 实时或静态按彩色或按灰度等级信号混合
ink1">3.5控制和数据处理系统
| 3.5.1基于以太网架构的数据传输系统
| 3.5.2Intel控制系统3.0GHz以上CPU;16.0GB内存;1000GB硬盘;DVD刻录机
| 3.5.3Windows 7操作系统,键盘,光电鼠标
| 3.5.4图像显示:一台24寸液晶显示器,1920 x 1200分辨率
3.6真空系统
| 3.6.1由涡轮分子泵,离子泵,与机械泵组成
| 3.6.2在镜筒与样品室之间有真空隔离装置,防止更换样品时,镜筒内被污染和保护灯丝。
| 3.6.3样品室真空度:高真空模式下优于6×10-4Pa
| 低真空模式下10Pa~ 130Pa
| 环境真空模式下10PA ~ 4000Pa
| 3.6.4典型换样时间:高真空模式≤150秒;
| 低真空模式≤270秒(标准测试程序)。
|
3.7标准应用软件
| 3.7.1样品台图像导航功能
| 3.7.2鼠标拖曳式放大及对中功能
| 3.7.3直方图及图像测量软件
| 3.7.4数字动画记录
3.8 标准配件
| 配有进口空压机和冷却循环水系统,分别用于冷却扫描电镜镜筒及其它部件。
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