脉冲激光沉积 PLD 检漏专用氦质谱检漏仪_详细资料

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氦质谱检漏仪脉冲激光沉积系统 PLD 检漏
脉冲激光沉积系统 PLD
脉冲激光沉积系统 Pulsed laser deposition 是制备高通量多晶薄膜, 外延薄膜和多层异质结构和超晶格结构的物理气相沉积设备, 通常需要保证本底真空度达到 10-8mbar, 同时高真空环境对系统配置的 RHEED 及温控系统等关键设备的寿命也至关重要.

脉冲激光沉积系统 PLD 需要检漏原因
PLD 系统需要高真空环境, 腔室是否有泄露, 是否有内部材料放气等因素对实现高真空及超高真空很关键. 因此需要对整个系统进行泄漏检测. 氦质谱检漏仪利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 因此广泛应用于 PLD 设备检漏.

脉冲激光沉积系统 PLD 检漏客户案例: 上海伯东某客户 PLD 设备用来制备各种材料, 为了保证产品质量, 采购氦质谱检漏仪 ASM 340 搭配使用.
生长多层膜（TiN/ALN）结构, 各层膜厚度可调
高通量制备具有不同材料成分的100种材料
PLD 制备的 Ag 的纳米多孔材料

脉冲激光沉积系统 PLD 检漏方法
采用真空模式检漏, 通过波纹管连接需要检漏的腔体, 设定好需要的漏率值
在怀疑有漏的地方喷氦气（一般需要检漏的部位是焊缝或连接处）,如果有漏,检漏仪会出现声光报警同时在屏幕上显示当前漏率值.

上海伯东推荐 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 340 三种类型可选
型号
ASM 340 WET
ASM 340 D
ASM 340 I
对氦气的最小检测漏率, 真空模式
5E-13 Pa m3/s
5E-13 Pa m3/s
5E-13 Pa m3/s
检测模式
真空模式和吸模式
真空模式和吸模式
真空模式和吸模式
检测气体
4He, 3He, H2
4He, 3He, H2
4He, 3He, H2
对氦气的抽气速度 l/s
2.5
2.5
2.5
进气口ZD压力 hPa
25
25
5
前级泵抽速 m3/h
油泵 15
隔膜泵 3.4
不含前级泵
重量 kg
56
45
32
脉冲激光沉积 PLD 检漏专用氦质谱检漏仪
脉冲激光沉积 PLD 检漏专用氦质谱检漏仪
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生长多层膜（TiN/ALN）结构, 各层膜厚度可调	高通量制备具有不同材料成分的100种材料	PLD 制备的 Ag 的纳米多孔材料

型号	ASM 340 WET	ASM 340 D	ASM 340 I
对氦气的最小检测漏率, 真空模式	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s	5E-13 Pa m3/s
检测模式	真空模式和吸模式	真空模式和吸模式	真空模式和吸模式
检测气体	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
对氦气的抽气速度 l/s	2.5	2.5	2.5
进气口ZD压力 hPa	25	25	5
前级泵抽速 m3/h	油泵 15	隔膜泵 3.4	不含前级泵
重量 kg	56	45	32