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一、工作原理
ICP电感耦合等离子体发射光谱仪器又称为ICP光谱仪（ Inductive Coupled Plasma ）即以电感耦合高频等离子体为激发光源，利用每种元素的原子或离子发射特征光谱来判断物质的组成，而进行元素的定性与定量分析仪器。原子发射光谱分析过程主要分三步，即激发、分光和检测。
1：激发光源使试样蒸发汽化，离解或分解为原子状态，原子也可能进一步电离成离子状态。原子及离子在光源中激发发光；
2：利用分光器把光源发射的光色散为按波长排列的光谱；
3：利用光电器件检测光谱，按所测得的光谱波长对试样进行定性分析，或按发射光强度进行定量分析。
二、HK-9600型光谱仪技术性能指标说明
1. 射频发生器（RF）：
电路类型 | 电感反馈式自激振荡电路，全自动点火，同轴电缆输出匹配调谐，取功率反馈，进行闭环自动控制。 | 工作频率 | 40.68MHZ±0.05% |
频率稳定性 | <0.1% | ||
输出功率 | 800－1500w | ||
输出功率稳定性 | ≤0.3% | ||
电磁场泄漏射强度 | 距机身30cm | ||
电场强度E | <1V/m | ||
磁场强度H | <0.2A |
2、进样系统:
输出工作线圈内径 | 25mm， 3匝 | 炬管 | 三重同心石英炬管 |
同轴型喷雾器外径 | 6mm | 双筒形雾室外径 | 35mm |
氩气流量计规格和载气压力表规格 | 等离子气流量计（100-1000）L/h ；(1.6-16L/min) | ||
辅助气流量计（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) | |||
载气流量计（10-100）L/h ；(0.16-1.66L/min) | |||
载气稳压阀（0-0.6M Pa） | |||
3、测光系统:
光电倍增管规格 | R212UH | 信号采集为V/F交换 | 1mV对应100Hz |
光电倍增管负高压 | 200-1000V 稳定性<0.05% | 光电倍增管电流测量范围 | 10-12 -10-4A |
4、分光系统:
光路 | Czerny- Turner | 焦距 | 1000mm |
光栅规格 | 离子刻蚀全息光栅 | 刻线密度 | 3600线/mm |
分辨率 | ≤0.008nm | 刻线面积 | 80×110mm |
扫描波长范围 | 3600线/mm | 波长范围 | 180-500 nm |
透镜 | ф30，1：1成像 | 入射狭缝 | 20µm |
发射镜规格 | （78× 105 × 16）mm | 出射狭缝 | 20µm |
步进电机驱动最小步距 | 0.0005nm | ||
1、可检测物体分类：
包括：金属(钢铁,有色金属)
化学、药品、石油、树脂、陶瓷等
生物、医药、食品等
环境(自来水,环境水,土壤,大气粉尘)等
2、检测范围
是一种可以测定试样中的金属元素和部非金属元素的大型分析仪器，可以对试样进行定性、半定量和定量分析。它的测量范围可从微量到常量
3、仪器可检测元素检出限（见下表）
元素名称 | 元 素 符 号 | 检出限ug/L | 元素名称 | 元 素 符 号 | 检出限ug/L |
银 | Ag | 4.6 | 铌 | Nb | 3.6 |
铝 | Al | 9.5 | 钕 | Nd | 5.0 |
砷 | As | 10 | 镍 | Ni | 4.8 |
金 | Au | 4.9 | 锇 | Os | 0.4 |
硼 | B | 4.8 | 磷 | P | 9.9 |
钡 | Ba | 0.3 | 铅 | Pb | 42 |
铍 | Be | 0.3 | 钯 | Pd | 4.0 |
铋 | Bi | 3.4 | 镨 | Pr | 3.7 |
钙 | Ca | 0.1 | 铂 | Pt | 3.0 |
镉 | Cd | 0.5 | 铷 | Rb | 1.5 |
铈 | Ce | 12 | 铼 | Re | 6 |
钴 | Co | 4.0 | 铑 | Rh | 44 |
铬 | Cr | 4.1 | 钌 | Ru | 3.0 |
铜 | Cu | 2.4 | 锑 | Sb | 3.2 |
镝 | Dy | 0.3 | 钪 | Sc | 0.8 |
铒 | Er | 2.9 | 硒 | Se | 7.5 |
铕 | Eu | 0.7 | 硅 | Si | 0.7 |
铁 | Fe | 0.3 | 钐 | Sm | 4.3 |
镓 | Ga | 4.6 | 锡 | Sn | 25 |
钆 | Gd | 3.0 | 锶 | Sr | 0.4 |
锗 | Ge | 4.0 | 钽 | Ta | 2.5 |
铪 | Hf | 1.5 | 铽 | Tb | 23 |
汞 | Hg | 9.7 | 碲 | Te | 4.1 |
钬 | Ho | 2.9. | 钍 | Th | 6.5 |
碘 | I | 40 | 钛 | Ti | 2.8 |
铟 | In | 63 |
| Tl | 4.0 |
铱 | Ir | 9.5 | 铥 | Tm | 2.2 |
钾 | K | 60 | 铀 | U | 2.5 |
镧 | La | 0.3 | 钒 | V | 3.0 |
锂 | Li | 1.8 | 钨 | W | 10 |
镥 | Lu | 0.3 | 钇 | Y | 0.1 |
镁 | Mg | 0.1 | 镱 | Yb | 1.0 |
锰 | Mn | 1.4 | 锌 | Zn | 0.3 |
钼 | Mo | 4.9 | 锆 | Zr | 4.1 |
钠 | Na | 29 |
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每个元素灵敏度不一样是每个元素特性决定的，就是同一个元素它也有灵敏线、次灵敏线等几条甚至几十条线不等。（每个元素有不同条特征谱线，软件谱线库里都已经详细收录。）
4、使用成本
在使用中需要消耗氩气，满足要求的氩气纯度为99.99%，消耗标准约为12L/min.。
四、HK-9600型光谱仪特点
1、分析速度快 一分钟分析20个元素以上
2、精密度高 相对标准偏差RSD≤1.5%
3、稳定性好 相对标准偏差RSD≤2.0%
4、检出限低 μg∕L
5、分析元素多 可对70多种元素进行定量分析
6、操作便捷 全新Windows运行环境功能齐全
7、全自动点火 降低使用难度，方便快捷
8、多重安全保护 低量冷却水提醒保护、氩气低值保护、灭弧保护，三重保护使用更安全。
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