PEG100 冷阴极真空计

冷阴极真空计PEG100

• 测量范围可达 5 X 10 -9 - 1 X 10 -2 mbar (7.5 X 10-10 - 7.5 X 10 -10 Torr)

• 新电极几何形状提供ZY的点火属性
• 等离子点火后高压降低以及采用钛阴极板，降低了污染风险，即使是使用氩气进行溅射操作期间
• 阳极环和钛阴极可以轻松进行清洁或更换
• 最小化真空计附近的磁场强度
• LED 指示器用于显示电源及等离子点火状态
• 对数模拟输出信号
• 现场总线接口（Profibus DB、DeviceNet）允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

• 高真空压力监控
• 蒸发镀溅系统
• 高真空范围内的一般真空测量和控制

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