安捷伦氦质谱检漏仪VS系列

概述安捷伦氦质谱检漏仪VS系列

VS 系列检漏仪将仅需两个按钮的简便操作同先进的专业系统智能结合起来。的质谱仪与真空系统的结合提供了强大的性能，能为不同的应用提供广泛的测试方法。广泛的选项带来了巨大的配置灵活性，极富活力的设计创意令 VS 系列检漏仪能够在最严苛的环境中可靠地运行，满足最苛刻的工业标准。

特点安捷伦氦质谱检漏仪VS系列

全自动的初始设置及校正程度地提升了效率

测试接口高压力允许对大型泄漏的检测

主泵和系统的安装可以根据您的需求进行选择

快速的净化延长了系统的正常运行时间，强大的法拉第杯技术以低廉的维护成本带来了经证实的可靠性

在扩大范围的同时摒弃了繁杂的接线

新型GX离子源和束流光学优化了灵敏度和质量分离

检漏仪可以外放于洁净室内，从而避免污染

 主要性能：

1，最小可测漏率：5×10-12 Atm.cc/sec（=5×10-13 Pa.m3/sec）；

2，启测压强（前级耐压）：10 Torr (=1330 Pa)；

3, 双键操作，全中文操作界面， 大屏幕彩色触摸屏；

4，校准和操作方式：全自动,带温度自动补偿；

5，反应时间：< 0.5 sec；

6，单位选择：atm cc/sec、mbar l/sec、Torr l/sec、Pa m3/sec；

7，背景扣除能力：每次下压2.5个量级，具有自动记忆功能；

8，检漏仪前级泵抽速：11.6 m3/hour （＝3.2 liter/sec）。

9，7种语言可以选择，包括中文

安捷伦产品优势：

n  快速的响应时间和清除时间

n  高灵敏度

n  高抽速真空泵

n  洁净的无油系统

n  可移动性/便携性

n  占用空间小

应用：

真空加工设备或工具

真空炉

真空涂镀装置

光束线

电子束和离子束处理设备

分析仪器

半导体加工工具

激光加工设备

高压系统

n  电厂

n  地下储藏设施、电缆和管道

n  高纯度气体处理系统

n  生物反应器和发酵池

n  液化气生产设施

n  燃料箱和囊