VPC-200 水汽深冷捕集泵 VPC-200 深冷泵

水汽深冷捕集泵 Vapor Polycooler

◎应用原理

在高真空环境中都存在着一定的残余气体，

65％~95％是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，

但机械泵抽除残余气体的能力差，

时间长，而且残余气体是典型的副作用的污染

气体，是工件的污染源，从而使产品的产量和质量

受到影响。Vapor Polycooler水汽深冷捕集泵则是解决

这类问题的上佳选择。

Vapor Polycooler的工作原理：将一个-100℃以下的低

温盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面

的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体，从而大大缩短抽真空的时间（可缩短25％-75％的抽气时间）、获

得洁净的真空环境，提高产品的产量和质量，获得更高的商品价值。

Vapor Polycooler是一个低温制冷系统，通过在低温表

面的低温冷凝效应来捕集挥发性分子。主要用于开高

真空阀后捕集真空腔内

的水汽，快速制冷和除霜，也用于返油最小化控制。                         

◎产品优点

·温度可达到-120℃~-150℃。(ZD可到-165℃)

·多种型号，ZD制冷量可达到3500W。

·ZD水汽抽速为250,000L/s，真空可达到1.5*10-12torr。

·快速捕集水汽、油蒸汽，在高真空系统中可缩短25％-75％的抽

气时间，提高真空系统生产能力约20%到100%。

·改善镀膜的品质，提高薄膜的附着力和多层镀膜能力。

·8路温度显示和监控，包括负载的入口和出口、本机内部多级制

冷、排气、冷却水等温度。

·6组安全保护，包括温度、压力、电源相序及过载等。

·国际名Pai制冷压缩机，绿色环保混合型制冷剂，GX可靠。

·完善的自动化控制，本地、远程可选，带RS485通信．

·一台机器可带2路负载输出，满足用户的不同需求．

◎6组安全保护

·排气压力过低

·排气压力过高

·排气温度过高

·冷凝温度过高或过低

·制冷机过载或过热

·电源相序异常

VPC系列水汽深冷泵，运用自有的核心技术，成熟的设计方案，所有机型采用单台压缩机，环保混合制冷剂，自动复叠制冷，制冷速度快、效率高、温度低、维护方便。

我们提供完整的冷却方案，帮助客户减少生产费用，改进制程表现，提高工作场所安全和增加生产可靠性。可替代液氮，节约成本。在实际应用当中，根据所放的位置不同可以

分为两类：

1、低温盘管 CryoCoil

低温盘管一般安装在真空室内，或高阀与真空室之间，适用于镀膜材料放气量较大的场合．低温盘管同时具备加热除霜功能，使低温盘管在每次开门之前恢复到常温，有利于下次抽真空。

2、低温挡板 CryoBaffle

安装在扩散泵上方，主要功能是防止油扩散泵的油气返流，同时也可以抽除水汽，提高真空度。

◎基本应用

·在光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统，可以用于真空室内抽吸水汽，也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。

·根据需要，低温盘管和低温挡板，可以分别安装．也可以同时安装。

·根据需要，客户可以定制不同形状的低温盘管和低温挡板。

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