产品系列
晶体管图示仪
半导体分立器件测试筛选系统
静态参数测试仪(包括IGEs/VGE(th)/VCEsat/VF/ICEs/VCEs等)
动态参数测试仪(包括Turn_ON&OFF_L/Qrr_FRD/Qg/Rg/UIS/SC/RBSOA等)
环境老化测试(包括 HTRB/HTGB/H3TRB/Surge等)
热特性测试(包括 PC/TC/Rth/Zth/Kcurve等)
可测试 Si/SiC/GaN 材料的IGBTs/MOSFETs/DIODEs/BJTs/SCRs等功率器件
ST-SP4040 功率器件静态参数测试系统
用于测试 IGBTs,MOSFETs, Diode,静态直流参数
3000V/2000A
♦产品简述
ST-SPX系列产品是主要针对半导体功率器件的静态参数测试而开发设计。通过DUT适配器的转换,可实现对各种封装形式的 IGBTs,MOSFETs,DIODEs 等半导体器件的静态电参数测试,包括器件、模块以及DBC衬板和晶圆。
设备融入了自动化及智能化的设计理念及功能,支持批量上下料并进行全自动测试。用于规模化量产可节省人力并提高测试产能,适合产线量测以及器件研发设计阶段的实验室测试,设备由主控计算机操控,测试数据自动上传以及保存。测试能力包含输出特性、转移特性、击穿特性、漏电流、阈值电压、二极管压降等。产品功能及输出功率进行了模块化设计,满足用户潜在的后期需求,测试电压电流可扩展至10KV/10KA,变温测试支持常温到200℃。
♦测试能力
♦产品特点
产品以2000A为一个电流模块,以1000V为一个电压模块,可升级到10KA/10KV.
可以连接探针台做 wafer / chip 测试,也可以安装夹具及适配器做模块测试
针对不同结构的封装外观,通过更换 DUT适配器即可
可进行室温~200℃变温测试,也可实现子单元测试功能
测试软件具有实验模式和生产模式,测试数据可存储为Excel文件
栅极电阻可任意调整
系统测试性能稳定,适合大规模生产测试应用(24hr 工作)
支持半自动和全自动测试
采用品Pai工控机,具有抗电磁干扰能力强,排风量大等特点
安全稳定(PLC 对设备的工作状态进行全程实时监控并与硬件进行互锁)
自动化,单机测试时只需手动放置DUT,也可连接机械选件实现自动化测试线
智能化,通过主控计算机进行操控及数据编辑,测试结果自动保存及上传指定局域网
安全性,防爆,防触电,防烫伤,短路保护等多重保护措施,确保操作人员、设备、数据及样品安全。