无尘烤箱

产品简介：

ENOHK品Pai洁净烘箱（无尘烤箱）-EHC系列采用独特的内外舱分体结构结合内循环风道设计，通过耐高温超GX过滤器H.E.P.A不断对内部进行自净化过滤，从而形成高洁净、温度均匀的密闭的高温热风烘烤环境。无尘烤箱广泛应用晶圆片的硬烤、软烤，LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。

产品特点：

●内胆：采用日制400番2mm厚SUS304#镜面不锈钢板材，经碱性苏打水清洁，去油污避免烘烤时产生 PARTICLE

●外壳：采用1.5mm厚 SS41#钢板经酸洗磷化等防锈处理后喷塑

●保温层：采用正厂一级100K级高密度超净玻璃纤维材料保温板，厚度80mm

●过滤器：进口耐高温无边框超GX过滤器H.E.P.A，》0.1μm颗粒过滤效率99.999%

●压差计：进口压差计，监控H.E.P.A工作状态。

●温控器：采用日本欧姆龙液晶数字型PID温度控制器，控温精度±0.5%

●温度传感器：日制进口CA感应棒±0.5%，精度高，误差小

●鼓风装置：采用大功率耐高温长轴减震静音马达，大口径不锈钢涡轮扇叶，可在高温环境下长期稳定工作

●电热发生器：覆套式无尘化电热发生器

●风门调节：进口伺服电机自动风门装置，自动控制风门开关，确保烘烤前后箱内密闭

●把手铰链：采用锌合金合页铰链门扣，易开易关。

●密封胶条：采用改性无氟硅橡胶材质，耐高温，不易老化，密封性JJ

●支撑脚轮：配置4只高承重万象活动轮，前轮带刹车，方便移动，同时配置4只水平调整脚杯

选配组件：

1.程序控温：可配置程序型温度控制器，ZD实现99段*99组程序控温。

2.测试孔：可在侧面加装Φ35mm测试孔

3.电磁锁：安全门控电磁锁，确保烘烤过程箱门密闭，内部环境不被破坏。

4.多点温度记录：可配置多点温度记录仪，打印机或RS485接口，连接打印机或PC设备，监控记录温度状况。

5.三色指示灯：工作状态指示灯，待机，运行，故障闪灯光警示。

6.其它非标订制：可根据客户实际需求提供产品订制
规格一览表：