超精密压电红外扫描器 内部采用并联式结构设计，结构紧凑，所有促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构，并联结构有着更轻的质量，更低的惯量和更高的动态性。中空式设计，且ZY通孔较大，可更好的集成于红外热成像扫描系统中。
应用：
原子力显微镜 高分辨率CCD 三维共焦显微 激光平面干涉 纳米光刻 红外热成像扫描 光纤对接 纳米光刻
超精密压电红外扫描器特点：
1-3维运动
大运动范围370μm
一体式结构设计，多维运动无耦合
大透光孔径35mm
闭环精度可达0.15%F.S.
技术参数：
| 产型号 | PK2H52-012U | 公差 |
| 运动自由度 | X、Y | - |
| 传感器类型 | - | - |
| 标称行程范围（@0~+120V） | 17 μm | ±20% |
| zui大行程范围（@-20~+150V） | 12 μm | ±20% |
| 分辨率 | 0.1 nm | typ. |
| 重复定位精度 | - | typ. |
| 线性度 | - | typ. |
| 承载能力 | 2.5 N | Max. |
| 刚度 | （X）1.5 N/μm、（Y）1.5 N/μm | ±20% |
| 谐振频率 | 0g | （X）1000 Hz、（Y）1000 Hz | ±20% |
| 静电容量 | 1.8 μF/轴 | ±20% |
| 工作温度范围 | -10~+70 ℃ | - |
| 驱动电压范围（推荐）1 | 0~+120 V | typ. |
| 线缆长度 | 1.5 m | ±10mm |
| 中孔尺寸 | Ø25.5×23mm | - |
| 外形尺寸(LxH) | 58×52×10 mm | - |
| 重量 | 60 g | ±5% |
| 本体材质2 | 铝（W） | - |
说明：1.zui大驱动电压可在-20V~+150V使用；长期使用建议在0~120V驱动电压下可延长使用寿命。2.表面处理:白色(W)/黑色(B)。
