超纯水电导率≤0.055μS/cm@25℃; 电阻率:18.25ΜΩ·cm@25℃
微粒子(大于0.01μm)含量:﹤1/ml 热源含量:﹤0.001Eu/ml
微生物含量:﹤1cfu/ml 总有机碳量:TOC≤1ppb
金属阳离子含量(单位ppb):
Fe(铁) ﹤0.005 Cu(铜) ﹤0.005 Al(铝) ﹤0.005 Ni(镍) ﹤0.005
Zn(锌) ﹤0.02 Cr(铬) ﹤0.005 Na(钠) ﹤0.01 K(钾) ﹤0.02
阴离子含量(单位ppb):
Clˉ(氯) ﹤0.01 NO2ˉ(亚硝酸根) ﹤0.02
NO3ˉ(硝酸根) ﹤0.02 SO42ˉ(硫酸根) ﹤0.01
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