技术参数
X轴(驱动部)
测量范围
100mm
分辨率
0.05μm
测量方法
线性编码器
驱动速度
0-40mm/s
测量速度
0.02-5mm/s
测量方向
向后
直线度
0.15μm /100mm
Z2轴(立柱)
类型
手动操作或电驱动
垂直移动
350mm或550mm*
分辨率*
1μm
测量方法*
旋转编码器
驱动速度*
0-20mm/s *仅适于电驱动型
检测器
范围/分辨率
800µm / 0.01µm, 80µm / 0.001µm,8µm / 0.0001µm
检测方法
无轨/有轨测量
测力
4mN 或 0.75mN (低测力型)
测针针尖
金刚石、90º / 5µmR(60º / 2µmR: 低测力型)
导头曲率半径
40mm
差动电感式
控制器
显示
7.5〞带背光的TFT彩显
打印机
内置热敏打印机
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放大倍率
水平:×10至×500,000、自动
垂直:×0.5至×10,000、自动
驱动装置的驱动
通过操纵杆手动手柄的操作
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