ZS-HL/ZS-L 欧姆龙ZS-HL/ZS-L智能传感器（2维CMOS激光型）

品Pai	欧姆龙	型号	ZS-HL/ZS-L
种类	光学	材料	混合物
材料物理性质	半导体	材料晶体结构	**
制作工艺	集成	输出信号	模拟型
防护等级	**	线性度	**（%F.S.）
迟滞	**（%F.S.）	重复性	**（%F.S.）
灵敏度	**	漂移	**
分辨率	**

智能传感器（2维CMOS激光型）

着眼于未来的创造。 用于高精度位移测量的智能传感器 1、将先进传感技术融入业界Z小传感器头及控制器中。 2、稳定检测减少颜色和光泽误差。 3、110 μs超高速感应。 4、液晶界面操作设定。 5、USB标准配置。 6、监控软件包。

项目		型号	ZS-HLDC11A ZS-LDC11A	ZS-HLDC11 ZS-LDC11	ZS-HLDC41A ZS-LDC41A	ZS-HLDC41 ZS-LDC41
平均次数			1/2/4/8/16/32/64/128//2048/4096次
传感器连接数量			1台/控制器
外部 接口	连接方式		串行I/O为连接器方式、其他为导线引出方式（标准导线长度：2m）
	串行I/O	USB2.0	1个端口， FULL SPEED[Z大12Mbps]、MINI-B
		RS-232C	1个端口、Z大115,200bps
	输出	判断输出	HIGH/PASS/LOW 3输出 NPN集电极开路， DC30V 50mAmax.，残余电压：Z大为1.2V		HIGH/PASS/LOW 3输出 PNP集电极开路 50mAmax.，残余电压：Z大为1.2V
		线性输出	可从两种输出，电压或电流中选择（通过底座上切换开关进行选择） ·电压输出：-10～+10V，输出阻抗：40Ω ·电流输出：4～20mA，Z大负载电阻：300Ω
	输入	激光OFF/ZERO定时/ RESET	ON：短路，端电压 0V或1.5V以下 OFF：开路（漏电流：Z大为0.1mA）		ON：短路，电源电压或与电源电压-1.5V以内 OFF：开路（漏电流：Z大为0.1mA）
功能			显示：测量值/门限值、电压/电流值、受光量以及分辨率显示/端子块输出显示＊2 传感：模式/增益/测量对象/传感头安装 测定点＊1 ： 平均/峰值/谷值/厚度/段差/计算 过滤：平滑/平均/微分 输出：比例缩放/各种保持/归零 I/O设定值：线性(聚焦/校正)/判断(迟滞、定时器)/非测量/组(切换和清除)/端子块＊2 系统：保存/初始化/测量信息显示/通信设定/键锁定/语言切换/数据加载 任务功能 ： ZS-HLDC□1：单任务/多任务（Z大4个任务）切换 ZS-LDC□1：单任务
状态指示灯			HIGH(橙色)、PASS(绿色)、LOW(橙色)、LDON(绿色)、ZERO(绿色)、ENABLE(绿色)
分段显示		主显示	8段红色显示， 6位数
		副显示	8段绿色显示， 6位数
液晶显示			16位数×2行，字符颜色：绿色，每个字符分辨率：□5×8像素矩阵
设定输入		设定键	方向键(UP/DOWN/LEFT/RIGHT4方向)、SET键、ESC键、MENU键、及功能键(1～4)
		切换开关	门限选择开关（2种状态 H/L） 模式切换开关（3种状态 FUN/TEACH/RUN）
电源电压			DC21.6V～26.4V （包括纹波）
电流消耗			0.以下（当连接传感器头时）
周围环境温度			动作时：0～50℃、存储时：-15～+60℃ （不结冰、结露）
周围环境湿度			动作时·存储时：35～85%RH （不结冰、结露）
材料			外壳：聚碳酸酯（PC）
重量			约280g （包括包装材料和附件）
附件			设定软件， USB电缆(1m)， 铁氧体磁心(3个)， 说明书	铁氧体磁心(1个)， 说明书	设定软件， USB电缆(1m)， 铁氧体磁心(3个)， 说明书	铁氧体磁心(1个)， 说明书

＊1. ZS-HLDC□1的功能下选择多任务模式时可使用。＊2. 端子块输出为ZS-HLDC□1的功能。ZS-HL系列传感头

项目	型号	ZS-HLDS2 (ZS-HLDS2T)		ZS-HLDS5 (ZS-HLDS5T)		ZS-HLDS10		ZS-HLDS60		ZS-HLDS150
适用控制器		ZS-HLDC系列
光学方式		正反射	扩散反射	扩散反射	正反射	扩散反射	正反射	扩散反射	正反射	扩散反射	正反射
测量ZX距离		20mm	5.2mm	50mm	44mm	100mm	94mm	600mm	－－	1500mm	－－
测量范围		±1mm	±1mm	±5mm	±4mm	±20mm	±16mm	±350mm	－－	±500mm	－－
光源		可视半导体激光（波长650nm、1mW以下、2级JIS）						可视半导体激光 （波长658nm、1mW以下、2级JIS）
光束形状		线光束
光束直径＊1		1.0mm×20μm		1.0mm×30μm		3.5mm×60μm		16mm×0.3μm		40mm×1.5μm
直线性＊2		±0.05％F.S.		±0.1％F.S.				±0.07％F.S.(250～750mm) ±0.1％F.S.(750～950mm)		±0.2％F.S.
分辨率＊3		0.02μm (平均次数256)	0.05μm (平均次数256)	0.1μm(平均次数512)		1μm(平均次数64)		8μm(平均次数64、at250mm)、 40μm(平均次数64、at600mm)		500μm(平均次数64)
		0.25μm(平均次数256)
温度特性＊4		0.01％F.S./℃
采样周期		110μs （高速模式）、500μs （标准模式）、2.2ms （高精度模式）、4.4ms （高感度模式）
LED 指示灯	NEAR灯	接近测量ZX距离以及在测量范围内小于测量ZX距离时点亮。
		当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
	FAR灯	接近测量ZX距离以及在测量范围内大于测量ZX距离时点亮。
		当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
运行环境照明		受光表面照明3,000 lx以下：白炽灯						受光表面照明1,000 lx 以下：白炽灯		受光表面照明500 lx 以下：白炽灯
周围环境温度		运行：0～50℃，存储：-15～60℃ （不结冰、结露）
周围环境湿度		运行和存储：35～85％RH （不结露）
保护等级		IP64		电缆长度0.5m：IP66、电缆长度2m：IP67				IP66
材料		外壳：铝印模压铸，前盖：玻璃
电缆长度		0.5m、2m
重量		约350g		约600g				约800g
附件		激光标签（JIS/EN各1个），铁氧体磁心（2个），保险锁（2个），说明书

＊1. 将实际测量ZX距离（有效值）的ZX光学密度定义为1/e2(13.5%)。光束直径有时受工件状况的影响，如主光束泄漏的光。＊2. 相对于理想直线的测量值误差。＊2.根据工件直线可能变更。工件如下：

型号	扩散反射	正反射
ZS-HLDS2	SUS块	玻璃
ZS-HLDS5/HLDS10	白色铝瓷	玻璃
ZS-HLDS60/HLDS150	白色铝瓷	－－

＊3. 设定为高精度模式、表内平均次数是测定ZX位移输出的[峰值-峰值]的位移换算值（ZS-HLDS60记载250mm下的Z高分辨率）。工件如下：

型号	扩散反射	正反射
ZS-HLDS2	SUS块	玻璃
ZS-HLDS5	白色铝瓷
ZS-HLDS10/HLDS60/HLDS150	白色铝瓷

＊4.当传感头和工件通过铝夹固定时在测量ZX距离处得到的温度特性。ZS-L系列传感头

项目	型号	ZS-LD20 (ZS-LD20T)		ZS-LD20S (ZS-LD20ST)		ZS-LD40 (ZS-LD40T)		ZS-LD10G (ZS-LD10GT)	ZS-LD15G (ZS-LD15GT)
适用控制器		ZS-HLDC/LDC系列
光学方式		正反射	扩散反射	正反射	扩散反射	正反射	扩散反射	正反射
测量ZX距离		20mm	6.3mm	20mm	6.3mm	40mm	30mm	10mm	15mm
测量范围		±1mm	±1mm	±1mm	±1mm	±2.5mm	±2mm	±0.5mm	±0.75mm
光源		可视半导体激光（波长650nm、1mW以下、2级JIS）
光束形状		线光束		点光束		线光束
光束直径＊1		900×25μm		φ25μm		2000×35μm		约25×900μm
直线性＊2		±0.1％F.S.
分辨率＊3		0.1μm (0.008μm)/ 〈0.25μm〉		0.1μm (0.001μm)/ 〈0.25μm〉		0.4μm (0.015μm)/ 〈0.4μm〉		0.1μm (0.001μm)/ 〈0.25μm〉	0.15μm (0.001μm)/ 〈0.25μm〉
温度特性＊4		0.04％F.S./℃		0.04％F.S./℃		0.02％F.S./℃		0.04％F.S./℃
采样周期		110μs （高速模式）、500μs （标准模式）、2.2ms （高精度模式）、4.4ms （高感度模式）
LED 指示灯	NEAR灯	接近测量ZX距离以及在测量范围内小于测量ZX距离时点亮。
		当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
	FAR灯	接近测量ZX距离以及在测量范围内大于测量ZX距离时点亮。
		当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。
运行环境照明		受光表面照明3,000 lx以下：白炽灯
周围环境温度		运行：0～50℃，存储：-15～60℃ （无结冰结露）
周围环境湿度		运行和存储：35～85％RH （无结露）
保护等级		电缆长度0.5m：IP66、电缆长度2m：IP67						IP40
材料		外壳：铝印模压铸，前盖：玻璃
电缆长度		0.5m、2m
重量		约350g						约400g
附件		激光标签（JIS/EN各1个， FDA 3个），铁氧体磁心（2个）， 保险锁（2个），说明书						激光安全说明标签（JIS/EN各1个），铁氧 体磁心（2个），保险锁（2个），说明书

＊1. 将实际测量ZX距离（有效值）的ZX光学密度定义为1/e2(13.5%)。定义区域外也有漏光，当工件周围的光反射率高于工件的状况下可能有一定影响。＊2. 相对于理想直线的测量值误差。工件为白色铝瓷（正反射模式为玻璃）。根据工件直线可能变更。＊3. 平均次数128次，设定为高精度模式时的测定ZX距离的位移输出的[峰值-峰值]的位移换算值。工件为白色铝瓷（正反射模式为玻璃）。（ ）内为设定为平均次数4096次，这是通过USB或RS-232获取数据时的代表例。＊4. 当传感头和工件通过铝夹固定时在测量ZX距离处得到的温度特性。ZS-L系列传感头

项目

型号

ZS-LD50

ZS-LD50S

ZS-LD80

ZS-LD130

ZS-LD200

ZS-LD350S

适用控制器

ZS-HLDC/LDC系列

光学方式

扩散 反射

正 反射

扩散 反射

正 反射

扩散 反射

正 反射

扩散 反射

正 反射

扩散 反射

正 反射

扩散反射

测量ZX距离

50 mm

47 mm

50 mm

47 mm

80 mm

78 mm

130 mm

130 mm

200 mm

200 mm

350 mm

测量范围

±5 mm

±4 mm

±5 mm

± 4mm

±15 mm

±14 mm

±15 mm

±12 mm

±50 mm

±48 mm

±135 mm

光源

可视半导体激光（波长650nm、1mW以下、2级JIS）

光束形状

线光束

点光束

线光束

线光束

线光束

点光束

光束直径＊1

900×60 μm

φ50 μm

900×60 μm

600×70 μm

900×100 μm

φ240μm

直线性＊2

±0.1％F.S.

±0.25％F.S.

±0.1％F.S.

±0.25％F.S.

±0.1％F.S.

分辨率＊3

0.8μm

0.8μm

2μm

3μm

5μm

20μm

温度特性＊4

0.02％F.S./℃

0.02％F.S./℃

0.01％F.S./℃

0.02％F.S./℃

0.02％F.S./℃

0.04％F.S./℃

采样周期＊5

110μs （高速模式）、500μs （标准模式）、2.2ms （高精度模式）、4.4ms （高感度模式）

LED 指示灯

NEAR灯

接近测量ZX距离以及在测量范围内小于测量ZX距离时点亮。

当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。

FAR灯

接近测量ZX距离以及在测量范围内大于测量ZX距离时点亮。

当测量目标超出测量范围或接收光量不足时闪烁。

运行环境照明

受光表面照明3,000 lx以下：白炽灯

受光表面照明2,000 lx以下:白炽灯

受光表面照明3,000 lx以下：白炽灯

周围环境温度

运行：0～50℃，存储：-15～60℃ （不结冰、结露）

周围环境湿度

运行和存储：35～85％RH （不结露）

保护

等级电缆长度0.5m：IP66、电缆长度2m：IP67

电缆长度

0.5m、2m

重量

约350g

附件

激光标签（JIS/EN各1个， FDA 3个），铁氧体磁心（2个），保险锁（2个），说明书

＊1. 将实际测量ZX距离（有效值）的ZX光学密度定义为1/e2(13.5%)。定义区域外也有漏光，当工件周围的光反射率高于工件的状况下可能有一定影响。＊2. 相对于理想直线的测量值误差。工件为白色铝瓷（ZS-LD50/LD50S的正反射模式为玻璃）。根据工件直线可能变更。＊3. 平均次数128次，设定为高精度模式时的测定ZX距离的位移输出的[峰值-峰值]的位移换算值。工件为白色铝瓷（ZS-LD50/LD50S的正反射模式为玻璃）。（ ）内为设定为平均次数4096次，这是通过USB或RS-232获取数据时的代表例。＊4. 当传感头和工件通过铝夹固定时在测量ZX距离处得到的温度特性。＊5. 设定为高速模式时。数据存储单元 ZS-DSU□1

项目		型号	ZS-DSU11	ZS-DSU41
传感器连接台数			不能连接
可连接控制器数			多为10个控制器（ZS-MDC：1个控制器、ZS-LDC：多为9个控制器）＊1
可连接的控制器			ZS-LDC□□、ZS-MDC□□
外部 接口	连接方法		串行I/O连接器方式、其他：预配线（标准电缆长度：2m）
	串行I/O	USB2.0	1个端口、FULL SPEED[Z大12Mbps]、MINI-B
		RS-232C	1个端口、Z大115,200bps
	输出		HIGH/PASS/LOW 3个输出、 NPN集电极开路， DC30V 50mA max. 残余电压1.2V以下	HIGH/PASS/LOW 3个输出、 PNP集电极开路 50mA max. 残余电压1.2V以下
	输入		ON ：短路，端电压为0或1.5V以下 OFF时：开路（漏电流 ：0.1mA以下）	ON ：短路，端电压为0或1.5V以下 OFF时：开路（漏电流 ：0.1mA以下）
数据分辨率			32bit
功能		记录触发功能	记录触发功能可分别设定开始和停止触发：外部触发/数据触发（自触发）以及时间触发
		其他功能	外部组、报警输出、保存数据格式定制功能及时钟功能
状态指示			OUT （输出，橙色）、PWR （绿色）、ACCESS （达到，橙色）、ERR （红色）
分段显示			8段绿色LED、6位
LCD			16位数×2行、字符颜色：绿色、每个字符分辨率：□5×8像素矩阵
设定输入		设定键	方向键(UP/DOWN/LEFT/RIGHT4个方向)、SET键、ESC键、MENU键及功能键(1～4)
		滑动开关	门限开关（H/L 2种状态） 模式切换开关（FUN/TEACH/RUN 3种状态）
电源电压			DC21.6V～26.4V （包括纹波）
电流消耗			0.以下
周围环境温度			运行时：0～50℃、保存时：0～60℃ （不结冰、结露）
周围环境湿度			运行时·保存时：35～85%RH （不结露）
材料			外壳：聚碳酸脂（PC）
重量			约280g （包括包装材料和附件）
附件			铁氧体磁心（1个）、说明书、用于数据存储单元的工具包；数据存储单元CSV文件转 换，智能分析宏版本（分析收集数据的Excel宏）