压电平移台 压电纳米定位台 超大行程2000μm ZG制造商

辽宁研生科技有限公司是压电纳米定位超精密位移台的专业制造商。

压电平移台 压电纳米定位台 超大行程2000μm  ZG制造商 技术

2000μm超大行程 1~3维压电纳米定位 压电平移台 ║P15系列

二维纳米级精密定位 压电平移台 ║P15系列

行程：XY2000μm

压电平移台 压电纳米定位台 超大行程2000μm  ZG制造商 技术

2000μm超大行程 1~3维压电纳米定位 压电平移台 ║P15系列

P15系列是采用压电陶瓷驱动的二维纳米级精密压电纳米定位台，压电平移台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，压电平台采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，复合式的柔性导向系统具有超高的导向精度、有效消除侧向运动分量，同时具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。超大行程2000μm，压电平移台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了平台具有JJ的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。压电平台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。

压电平移台 压电纳米定位台 超大行程2000μm  ZG制造商 技术

2000μm超大行程 1~3维压电纳米定位 压电平移台 ║P15系列

产品特点：

◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统，有效消除侧向运动分量；

◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

压电平移台 压电纳米定位台 超大行程2000μm  ZG制造商 技术

2000μm超大行程 1~3维压电纳米定位 压电平移台 ║P15系列

产品应用：

显微光学　•　半导体测试　•　干涉测量　•　纳米定位　•　生物技术　•　微加工　•　微操作

辽宁研生科技有限公司 ┃ 压电 • 纳米 • 定位 ┃ 压电陶瓷元件/促动器 ┃ 一至六维纳米级精密定位台/扫描台 ┃ 压电平移台/升降台/偏摆台/旋转台 ┃ 可根据用户需求提供各种类型的纳米级精密定位系统的解决方案 ┃

压电纳米定位 超精密位移台 *辽宁研生 ZG制造