芯明天压电陶瓷促动器宏微复合机构P83系列压电驱动测微头是将标准的测微头与可产生高分辨率位移的压电陶瓷相结合，通过手动调节大范围的测微头实现13mm大范围的位移,测微头的分辨率是10μm，再通过控制驱动电压使压电陶瓷相应伸长或缩短到预定位置，从而实现对压电陶瓷驱动测微头高分辨率的精调节，压电陶瓷行程范围可达20μm,压电陶瓷运动的分辨率可＜1nm，这个压电驱动测微头可以对元件进行大行程、高精度定位。
芯明天压电陶瓷促动器宏微复合机构P84系列压电驱动测微头是将测微头与高分辨率的压电陶瓷结构相结合，通过手动调节测微头实现大范围的位移, 再通过控制驱动电压使压电陶瓷相应伸长或缩短到预定位置，从而实现对压电陶瓷驱动测微头的精调节，压电陶瓷行程范围可达110μm, 压电陶瓷运动的分辨率达2.5nm，测微头的分辨率是10μm，整体结构可以对元件进行大行程、高精度定位。
技术参数
型号 | P84.X100S P84.X100K | P83.X25S P83.X25K | 单位 |
运动自由度 | X | X | |
传感器类型 | SGS | SGS | |
标称行程范围 （0 ~+120 V） | 80 | 20 | µm±20% |
zui大行程范围 （-20 ~+150 V） | 110 | 28 | µm±20% |
测微头行程 | 13 | 13 | mm |
分辨率 | 7，2.5 | 1.5，0.5 | nm |
测微头分辨率 | 10 | 10 | um |
闭环线性度 | 0.15 | 0.2 | %F.S. |
重复定位精度 | 0.05 | 0.1 | %F.S. |
推/拉力 | 16，4 | 20，5 | N |
刚度 | 1 | 2 | N/mm±20% |
静电容量 | 1.8 | 1.8 | μF±20% |
材质 | 钢、铝 | 钢 | |
重量 | 0.1 | 0.1 | Kg±5% |
出线长 | 1.5 | 1.5 | m±10mm |
