日本工程师（ENGINEER）镊子 PTZ-01_详细资料

产品信息

日本工程师（ENGINEER）镊子 PTZ-01
型号：PTZ-01
超高纯度cvd - sic单体*位，非磁性，耐蚀、抗高温等特性，使用方便

zui大6インチウェハーまで保持できます。

交換用　SiC先端

PTZ-90（別売）　￥29,400（税抜き）

　■クリーンパック
　PTZ-01は超純水による洗浄後、
クリーンパックされております。
（保証値　クラス100～1000相当）

ご注意

SiC単体は非常に脆いので、ご使用中だけでなく、保管?洗浄、
運搬中における先端の保護にも充分ご注意下さい。
先端が破損した場合には、本体ごと返送下さい。
先端のみの取替えも可能です。

真空蒸着（CVD）法による不純物ppbレベルの超高純度SiC（炭化ケイ素）を先端ビットに装着した画期的な製法によるシリコンウェハー専用ピンセット。

従来のステンレス製ピンセットの重大な欠点であったシリコンウェハーへの重金属汚染が全くありません。

耐薬品性と耐熱性に極めて優れ、弗硝酸等によるウェハー洗浄工程での使用も可能です。

軽量（ρ＝3.8）、非磁性、耐摩耗性に優れる等の特徴もあります。

ピンセット本体は、耐蝕性、非磁性、軽量等の特性を備えたチタニウムです。全長150㎜
■特性

項　　目特性値

　　密　度　　（kg/M3） 3.21×10³

　　曲げ強度※ （kgf/mm²） 80

　　引張り強度※ （kgf/mm²） 60

　　ヤング率　（kgf/mm²） 50,000

　　硬　さ　　（kgf/mm²） HK:3,500

　　線膨張係数（I/℃） 4.5×10^-6

　　熱伝導率※ （cal/cm?s?℃） 0.16

　　比抵抗　　（Ω?m） 10²

（※）室温での値

■耐蝕性

雰囲気温　度時　間重量変化

6N HCI 沸点（110℃） 1470h 認められず

9N HNO₃ 沸点（116℃） 1470h

19N H₂SO₄ 沸点（128℃） 1470h

弗硝酸?17%HF?83%HNO₃ 室温 532h

王水 80℃ 186h

大気中 1500℃ 146h

HCIガス 1200℃ 25h

■不純物含有量

元素濃度（単位：ppb）

Cu ＜100

K ＜60

Mo ＜40

Fe 35

Cr 26

Zn 9

Mn 9

W ＜ 4

Na ＜ 2

Co 1.3

La 0.8

Ag 0.8

Hf 0.32

Au ＜0.09

Sc ＜0.01

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項　　目	特性値
密　度　　（kg/M3）	3.21×10³
曲げ強度※ （kgf/mm²）	80
引張り強度※ （kgf/mm²）	60
ヤング率　（kgf/mm²）	50,000
硬　さ　　（kgf/mm²）	HK:3,500
線膨張係数（I/℃）	4.5×10^-6
熱伝導率※ （cal/cm?s?℃）	0.16
比抵抗　　（Ω?m）	10²

雰囲気	温　度	時　間	重量変化
6N HCI	沸点（110℃）	1470h	認められず
9N HNO₃	沸点（116℃）	1470h
19N H₂SO₄	沸点（128℃）	1470h
弗硝酸?17%HF?83%HNO₃	室温	532h
王水	80℃	186h
大気中	1500℃	146h
HCIガス	1200℃	25h

元素	濃度（単位：ppb）
Cu	＜100
K	＜60
Mo	＜40
Fe	35
Cr	26
Zn	9
Mn	9
W	＜ 4
Na	＜ 2
Co	1.3
La	0.8
Ag	0.8
Hf	0.32
Au	＜0.09
Sc	＜0.01