CCQ-A型系列气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力,通过电磁换向阀改变气路方向,推动气缸活塞,驱动阀板作上下运动,实现阀门的开启或关闭,从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。CCQ-A型系列气动超高真空插板阀适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。
主要技术性能
适用范围(Pa)
105~1.3x10-7
阀门漏率(Pa.L/S)
DN≤200为≤1.3x10-7DN≥250为≤6.7x10-7
阀门烘烤温度(℃)
≤150(除传动装置外)
开阀时阀板两侧压力差(Pa)
≤2.7x103
气源压力(MPa)
0.4~0.6
电源电压
标准出厂:AC220V/50Hz特殊指定:AC110V;DC24V;DC12V等
信号反馈
标准出厂:不带反馈信号特殊指定:微动开关DC/AC5~240V
主要外形连接尺寸
型号
通径(DN)
ΦD
ΦD0
ΦD1
ΦD2
ΦD3
H
A
n-d
L
L1
B
法兰标准
CCQ-50A
50
89
72.4
61.6
55.6
/
60
91
8-M8
515
153
62
GB/T6071
CCQ-63A
63
114
92.1
82.6
76.6
65
105
590
180
CCQ-80A
80
130
110
99
93
16-M8
608
220
75
CCQ-100A
100
152
130.2
120.7
114.7
70
655
267
94
CCQ-150A
150
202
181
171.5
165.5
20-M8
707
350
CCQ-200A
200
254
231.8
222.3
216.6
251
24-M8
806
426
112
CCQ-250A
250
314
288
308
275
271
85
300
24-M10
1125
550
JB5278
CCQ-300A
365
338
353
323
318
90
352
32-M10
1195
613
140
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