400℃晶圆片真空烘箱,快速升降温高温真空充氮烘箱
VOD-210
产品特点:
- 迅速脱氧:该箱内胆采用不锈钢制造,箱壁接缝全部采用氩弧焊焊接,密封性能JJ,能快速脱氧;
- GX率:稳定和快速的升温性能,有助于提高产品质量和效率;
- 保温节能:箱体与工作室之间填充高密度纤维棉作保温材料,有效保湿节能;
- 密封性好:箱门与工作室外框设有耐高温无尘密封条和压紧装置,有效地保证了箱体的密封性能;
- 置物架:工作室内设计可抽取的载物网板;
- 美观简洁:设备外形美观,操作简便,控温灵敏准确;
主要技术参数:
1:电源:AC380V 3φ 50HZ 18KW
2:工作尺寸:W560×D640×H600
外形尺寸:W910×D990×H1865
3:温度范围:RT+10℃~450℃
4:升温速率:2 ℃/minute~4 ℃/minute
5:降温速率:2 ℃/minute~4 ℃/minute(400℃降至100℃,客户需配冷却塔)
6:外壁材料: 冷扎碳钢板,经防锈处理后静电喷塑,耐划伤;
7:内胆材料: 5mm厚,SUS304不锈钢,不锈钢内外表面抛光;
8:保温材料:厚度150毫米硅酸保温棉,保温性能良好;
9:门:真空密封紧迫;门缝自带高温保护.(高温状态下使用,为耗品,建议2-3个月更换一次)
10:真空泵: LEYBOLD真空泵.(客户可自行购真空泵,或者制定真空泵型号);
11:真空度: ≤10 pa;
12:加热元件:四面辐射加热;
13:电器系统:系统采用PLC控制,加热启停、冷却启停、真空泵启停、充氮气启停;
14:温控输出:SSR输出,欧姆龙继电器,固态继电器
15:安全保护:加热电流过流、系统短路保护、电压过压保护、真空泵过负载、缺相保护、电炉超温报警等功能。
400℃晶圆片真空烘箱,快速升降温高温真空充氮烘箱