一、按用途和作用分
按用途和作用,传感器可分为:温敏传感器、力敏传感器、位移传感器、液面传感器、能耗传感器、速度传感器、射线辐射传感器、振动传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、真空度传感器、生物传感器等。
二、按制造工艺分
按制造工艺,传感器可分为:集成传感器、薄膜传感器、厚膜传感器、陶瓷传感器。
集成传感器是用标准的生产半导体集成电路的工艺技术制造的。通常还将传感器信号预处理电路也集成在同一芯片上。
薄膜传感器则是利用相应的材料,涂覆在陶瓷基片上制成的,几篇通常是AL2O3制成的,然后进行热处理,成形厚膜。
陶瓷传感器是采用标准的陶瓷工艺等(溶胶-凝胶等)生产。
三、按制造材料分
(1)按基本的材料分为金属、聚合物、陶瓷、混合物传感器。
(2)按材料的物理性质分为导体、绝缘体、半导体、磁性传感器。
()按材料的晶体结构分为单晶、多晶、非晶材料传感器
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