主要参数:
·平面精度为双零级
·表面粗糙度小于0.08um
·固有频率垂直1.2Hz-1.8Hz,水平1.2Hz-1.8Hz
·振幅不大于1.2um
·重复定位精度±0.05mm
衡工隔振平台选型参数表:
台面板厚度
台体厚度
台面尺寸(mm)
支撑数量
载重(kg)
价格(元)
6mm
60mm
600×600
四支撑
500
面议
750×750
80mm
900×600
100mm
1200×800
8mm
150mm
1500×1000
800
200mm
1800×1200
2000×1000
2000×1200
2000×1500
2400×1200
2400×1500
10mm
3000×1000
六支撑
1200
3000×1200
250mm
3000×1500
3500×1200
3500×1500
300mm
4000×1500
1500
12mm
4500×1500
八支撑
5000×1500
2000
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