主要特征: 采用L型移动桥式,由两到三个高精度等高块稳固支撑Y向槽型导轨,左立柱与横梁、滑架、鞍座共同组成移动桥,提高了运动质心,减少了阿贝误差? X轴和Z轴均采用超精加工及经过表面硬质阳极化处理的航空铝合金 Y轴采用一体化槽型精密花岗石导轨?? Z轴采用的可调式气动平衡设计,采用柔性悬挂系统,避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题,提高了测量机的精度和长期稳定性 ? 各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带,确保运动的平稳和准确定位 三轴均采用预载荷空气轴承,运动更平稳,导轨*受磨损?? 三轴均采用高精度欧洲进口光栅尺,系统分辨率可达0.078um;同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光栅尺的变形,保证在温度变化时的线性伸缩? 采用海克斯康为Function Plus专业打造的IDC-II控制系统,21项误差空间修正技术和自动调谐功能,保证了大型机器的动态性能和测量精度? 测量机三轴都配置温度传感器,实时监控温度变化,自动补偿由于温度变化而引起的误差 软件为业界标杆的PC-DMIS BASIC (/PC-DMIS? PREMIUM),功能强大,易学GX。
规格型号与技术指标: 8001000机器型号F10128F121510F122010F122510F12310行程(mm)X10001200120012001200Y12001500200025003000Z8001000100010001000测量空间(mm)Dx11001300130013001300Dy19602340284033403840Dz9501150115011501150Dx1153173173173173Dy1250280280280280花岗岩平台螺纹孔尺寸(mm)M1133156156156156M2105120120120120Mx250300300300300My250300300300300外形尺寸(mm)L23702820332038204320W16941980210021002100H31503460375037503750承重(kg)12002000200020002000机器重量(kg)4000530085001050012500MPEe(μm)4.0+L/3005.0*L/3005.0*L/3007.0*L/3007.0*L/300MPEp(μm)4.55.55.55.55.5光栅尺分辨率(μm)0.40.40.40.40.4空间移动速度(mm/s)200200200200200空间移动加速度(mm/ s2)450450450450450流量/供气压力150 NI/min,0.45Mpa150 NI/min,0.45Mpa150 NI/min,0.45Mpa150 NI/min,0.45Mpa150 NI/min,0.45Mpa注:工作环境为温度(20±2)℃, 湿度为45%-75%