美国SVT公司PLD脉冲激光沉积系统用于沉积金属薄膜,氧化物薄膜,多元素材料薄膜的脉冲激光沉积系统,可以与多种薄膜制备设备连用。凭借多年的科研与实践经验,我公司为许多科研用户独立打造了PLD-MBE连用系统,PLD-UHV Suptter连用系统等。应用:ZnO材料功能薄膜STO薄膜金属薄膜超导薄膜铁电功能薄膜功能陶瓷膜技术参数:超高真空E-10Torr四/六靶靶台 可公转,自转温度加热台到1000oC灵活的泵组合线形运动挡板在线检测系统(温度,厚度)配备高能量激光器主要特点:RF射频等离子源(氧,氮)升级高真空增加进样室升级为Laser-MBE (L-MBE)系统自动软件控制
提供更洁净的薄膜生长环境,*的温度控制解决方案.
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