2、仪器规格参数
2.1 金属台尺寸:408×308mm
2.2 外形尺寸:890×620×1077mm
2.3 运动行程: X坐标行程 250mm; Y坐标行程 150mm; Z坐标行程 250mm(调焦)
2.4 摆动范围:+-15(绕Y轴旋转)
2.5 仪器重量:200Kg
2.6 X、Y、Z数显解析度:0.0005mm
2.7 X、Y坐标示值误差:≤(3+L/200)μm
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