积分球的使用可以避免光谱仪的饱和，它的内表面是*的漫反射，具有非常均匀的空间非常均匀的空间反射特性，测量精度可以达到0.1%。
测量步骤，先收集外部环境光的光强，再将标准片置于积分球的采样口测量存为参考，zui后将待测样品置于采样口测量，软件会自动计算出反射比R%.
光谱仪: ASspec-UV/VIS高紫外灵敏度光谱仪 （200-1100nm）
光源： ASLight-HAL卤钨灯
光纤： FC-UV/VIS 谱段 FC光纤
积分球：ASsphere-50积分球,8度角采样
AS-Solar5000是一款方便实用的绒面抛光面硅片反射率测试仪器,系统使用简单，无需操作人员有专业的技能用户可以在移动的硅片上进行连续性测量，也可以测量硅片上的固定点。可自动生成测试报告及数据存储，用户可自定义反射率zui大值，zui小值门限设置。可自定义测量波长范围，仪器配备标准参考片。
＊积分球式整体反射率测量
＊zui低反射率波长
＊自动报告生成
＊平均反射率测量
＊颜色计算
规格
测量
测量参数 反射率光谱 / 膜厚 / 颜色
反射率范围 0 ~ 100 %
波长范围 200 ~ 1100 nm
反射率精度 ±0.1 %
反射率重复性* <0.05%
颜色测量 XYZ
硬件
测量几何 积分球 （所有角度反射光的测量）
测量光斑 ~ 8 mm
测量速度 < 1 s / point
硅片大小 156 x 156mm / 125 x 125mm
样品台 320 x 320mm
环境温度: 15-35°C （50-90°F）,
湿度: <90% （non-condensing）
电源 AC 100 ~ 240V; 50/60 Hz
PC / 软件
测量功能 整体反射率测量/zui小反射率波长定位/颜色/膜厚
PC 要求 Windows XP, 2GB RAM
