真空技术已经能获得从1000毫巴带10-13毫巴的超真空。为保证稳定、高质量的生产和工艺,必须采用精确的测量和控制仪器来检测与调整所需要的工作压强。
欧瑞康莱宝公司作为全系列的真空设备供应商,拥有应用各种工作原理的真空计,其测量范围从1000毫巴到10-12毫巴,覆盖了15个数量级,可以满足各种真空工艺的要求。欧瑞康莱宝的真空计家族包括:
- 用于测量粗真空的各种工作原理的机械指针式真空表。
- 各种间接测量的数显真空规,它们是:
- 热电阻真空规(皮拉尼规) TTR91/TTR91S/TTR96/TTR96S
- 冷阴极电离真空规(潘宁规) PTR225
- 薄膜电容规 CTR100/CTR91
- 薄膜/皮拉尼复合规 TTR100/TTR100S
- 冷阴极电离/皮拉尼复合规 PTR90
- 热阴极电离/皮拉尼复合规 ITR90
- 便携式真空表TM90/TM100
- 新型Center和Display系列真空仪表
准确、轻便的Center和Display系列真空仪表显示范围从1000毫巴到10-10毫巴,具有数显液晶显示器,可快速、直观、精确地反映真空系统的状态。数显读数可以用毫巴、托、帕和微米汞柱四种单位来显示。
另外,欧瑞康莱宝公司还拥有可以测量10-12mbar的超高真空测量仪表,这就是著名的IM540。