UL1000瑞士INFICON氦质谱检漏仪_详细资料

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UL1000瑞士INFICON氦质谱检漏仪
UL1000符合做微电子工业市场的要求。其特点从坚固的金属外壳并带有适用于洁净室的轮子，还有I-CAL（智能化漏率计算系统）,无与伦比的噪声YZ滤波，柔性均值算法和漂移YZ功能。用于消除在10^-11至10^-12超高灵敏漏率范围中长时间平衡的程序。
     系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并消除氦污染。
     UL1000具有可转动的控制界面，装在仪器商的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果于状态信息，这样可远距离方便地观察读值。
UL1000瑞士INFICON氦质谱检漏仪应用：
半导体工艺设备的维护，该设备本身带或未带有真空泵
工艺气体系统的检测与安装
元器件在组装前的漏率测试
要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合
　
UL1000瑞士INFICON氦质谱检漏仪技术参数
zui小可检漏率（按AVS2.1和EN1518标准）
＜5×10^-12mbar.l/s
zui小可检漏率（吸入器模式）
＜3×10^-8mbar.l/s
入口压强                粗检模式
                        精检模式
                        超精检模式
15 mbar
2 mbar
0.4 mbar
在抽空过程中的抽速
25立方米/小时
入口压强对氦气抽速      粗检模式
                        精检模式
                        超精检模式
8 升/秒
7升/秒
2.5升/秒
可检质量数
2、3、4amu, 氢，³氦，氦
电源电压
110－120V；220－241V
重量
110公斤；242磅
尺寸，包括手把（长×宽×高）
1068×525×850毫米

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