机械参数 重复性% <0.01 温度范围 -30...+100 C 位移速率 ≤5 m/s 机械寿命 50 million movements 防护等级 IP 65 振动 10 g 冲击 40 g 电气参数 zui大供电电压 42 V zui大供电电流 1 mA zui大瞬间电流 10 mA 建议瞬间电流 <1 μA 电阻± 20% 5 or 10 KOhm 重复性% <0.05 分辨率 无穷大 负载阻抗 ≥1 MOhm
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