| 是否提供加工定制 | 否 | 品Pai | 美国SMI |
| 型号 | SM5420C | 种类 | 压力 |
| 材料 | 聚合物 | 材料物理性质 | 半导体 |
| 材料晶体结构 | 多晶 | 制作工艺 | 薄膜 |
| 输出信号 | 模拟型 | 防护等级 | 5倍压力 |
| 线性度 | 0.3（%F.S.） | 迟滞 | 0.3（%F.S.） |
| 重复性 | 0.3（%F.S.） | 灵敏度 | 0.3 |
| 漂移 | +-2 | 分辨率 | 0.3 |
SM5420是一个小外型SO-8封装的不带温度补偿压力传感器，该传感器使用SMI公司经过优化的硅微结构的SM5108晶圆，并能为如此小的压力传感器提供比较高的精确度。这种优越性能通过细微电阻安装和微机械配置以及先进的MEMS加工技术而得。这种传感器是为大批量使用而价格又成为关键因素的客户而设计，如胎压计或者是轮胎气压监测系统。SM5420为绝压类型的压力传感器，满量程范围为15psi、30psi和100psi,SM5420是基于大批量使用陶瓷基板或者是印刷电路板的制造商而设计。SM5420可以选用带端口的配置或者带孔配置，让进气通过端口上方或者压力源的正向定位用于感应一般环境压力或者与O形的密封圈一起使用。该端口方向已选定以Z小化因恶劣环境中附加的长期依赖而造成的压力脉冲直接冲击压力晶圆正面的几率。该器件对带有凝胶的作为标准，大量订购该器件并需要Z大化稳定性的可以不带凝胶，比如在气压站、气象站的传感应用。
特点 l15psi、30psi和100psi l宽工作温度范围（-40至+125℃） l适用于自动化流水线装配 l格 l小外型封装（0.16英寸ⅹ0.16英寸） l恒定电流或者恒定电压供电 l较大的mV电压输出 l没有温度补偿及零点校准 | 应用 l汽车轮胎压力监测 l引擎控制 l气压传感 l海拔高度校正仪 l气动仪表 l手持式仪表 l家电 |
性能参数所有参数在室温25℃，5V直流恒压源供电的条件下测量而得，除非另外规定。
| Z小值 | 典型值 | Z大值 | 单位 |
激励电压源DC | 0 | 5.0 | 10 | V |
激励电流源DC | 0 | 1.0 | 1.6 | mA |
满量程输出PSI（kPa） | | | | |
15（103） | 95 | 127 | 160 | mv |
30（207） | 65 | 100 | 135 | mv |
100（689） | 65 | 100 | 135 | mv |
零点输出 | -35 | 0 | 35 | mV |
满量程温度系数 | -0.24 | -0.19 | -0.155 | %FS/℃ |
零点温度系数 | -0.07 | -0.01 | +0.07 | %FS/℃ |
电阻温度系数 | +0.24 | +0.275 | +0.33 | %RB/℃ |
压力线性度（非线性误差） | -0.20 | -0.07 | +0.20 | %FS |
桥臂阻抗 | 4 | 5 | 6 | kΩ |
输入电容 | | <2 | | pF |
耐压 | 3ⅹ | | | Rated FS |
爆破压力 | 5ⅹ | | | Rated FS |
工作温度 | -40 | | +125 | ℃ |
存储温度 | -40 | | +150 | ℃ |
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注意：1、电桥可以被正电压或者负电压激励；正输出适用在正电压激励正压力加载在晶圆上2、在5V恒定电压激励下测量3、测量从0到70℃4、直线拟合
沪公网安备 31011502008050号
