ACCURMADE 艾尔发影像仪标准样板_详细资料

产品信息

1、ACC-20 圆型靶标

型号：ACC-20 货号：10820001

一块圆形直径：20mm 圆度精度：±0.5μm

一块圆形直径：0.5mm 0.1mm 圆度精度：±0.5μm

2、ACC-10-10大网格板

型号：ACC-10-10 货号：10810101

规格：340*340mm

方格尺寸：10*10mm

精度：±0.5um

3、ACC-5-5纳米级台阶样板

型号：ACC-5-5 货号：10850501

外型尺寸 :5x5mm

台阶高度 :20/100/500nm, 每一个包装盒上的标志都有具体的数值

结构几何 :

- 1mmx1mm的正方上每10μm间距有正方形柱子和洞

- 500x500μm的正方上每5μm间距有圆形柱子和洞，还有X、Y方向的线路

4、ACC-S1000放大倍率样板

该系列标样既可用于扫描电镜，也可用于光学显微镜（包括普通光学显微镜和激光共焦显微镜）的放大倍率校准。

1、栅格小分辨率：0.5um

2、规格： 40μm、20μm、10μm、5μm和1μm的线距

型号：ACC-S1000 货号：10810001

光栅区域

大方格

中方格

A

B

x向水平栅距

2000.6μm

1200.4μm

40000.6

20000.4

及不确定度

± 2μm

±1μm

± 4 nm

± 2 nm

y向水平栅距

2000.6μm

1200.4μm

40000.6

20000.4

及不确定度

± 2μm

±1.2μm

± 5 nm

± 3nm

正交性

90

90

90

90

及不确定度

± 0.01º

± 0.01º

± 0.01º

± 0.01º

栅距非均匀性

≤0.2％

≤0.3％

(包括不同模版间)

光栅区域

C

D

E1

E2

x向水平栅距

10000.2 nm

5000.0 nm

2000.4 nm

1000.4 nm

及不确定度

± 2 nm

±1.5 nm

± 1 nm

± 0.8 nm

y向水平栅距

10000.2 nm

1000.0 nm

1000.4 nm

1000.4 nm

及不确定度

± 1.5 nm

±1 nm

± 1 nm

± 0.9 nm

正交性

90

90

90

90

及不确定度

± 0.01º

± 0.01º

± 0.01º

± 0.01º

栅距非均匀性

≤0.3％

≤0.5％

≤1％

≤1.5％

(包括不同模版间)

您可能感兴趣的产品

光栅区域	大方格	中方格	A	B
x向水平栅距	2000.6μm	1200.4μm	40000.6	20000.4
及不确定度	± 2μm	±1μm	± 4 nm	± 2 nm
y向水平栅距	2000.6μm	1200.4μm	40000.6	20000.4
及不确定度	± 2μm	±1.2μm	± 5 nm	± 3nm
正交性	90	90	90	90
及不确定度	± 0.01º	± 0.01º	± 0.01º	± 0.01º
栅距非均匀性			≤0.2％	≤0.3％
(包括不同模版间)			≤0.2％	≤0.3％

光栅区域	C	D	E1	E2
x向水平栅距	10000.2 nm	5000.0 nm	2000.4 nm	1000.4 nm
及不确定度	± 2 nm	±1.5 nm	± 1 nm	± 0.8 nm
y向水平栅距	10000.2 nm	1000.0 nm	1000.4 nm	1000.4 nm
及不确定度	± 1.5 nm	±1 nm	± 1 nm	± 0.9 nm
正交性	90	90	90	90
及不确定度	± 0.01º	± 0.01º	± 0.01º	± 0.01º
栅距非均匀性	≤0.3％	≤0.5％	≤1％	≤1.5％
(包括不同模版间)	≤0.3％	≤0.5％	≤1％	≤1.5％