技术指标:
■平面度:00级
■固有频率:1.0Hz~1.5Hz
■减振效率:x方向<5Hz时:86%~92% y方向<5Hz时:84%~90%
x方向<10Hz时:90%~96% y方向<10Hz时:88%~93%
■振幅:< 1.0μm
■重复定位精度:±0.05mm
| 产品型号
| | 规格(mm)
| | 支撑
|
| ZHDLS-60-60
| | 600*600*800
| | 4
|
| ZHDLS-75-75
| | 750*750*800
| | 4
|
| ZHDLS-90-60
| | 900*600*800
| | 4
|
| ZHDLS-100-80
| | 1000*800*800
| | 4
|
| ZHDLS-120-800
| | 1200*800*800
| | 4
|
| ZHDLS-150-100
| | 1500*1000*800
| | 4
|
| ZHDLS-160-100
| | 1600*1000*800
| | 4
|
| ZHDLS-180-120
| | 1800*1200*800
| | 4
|
| ZHDLS-200-100
| | 2000*1000*800
| | 4
|
| ZHDLS-200-120
| | 2000*1200*800
| | 4
|
| ZHDLS-200-150
| | 2000*1500*800
| | 4
|
| ZHDLS-240-120
| | 2400*1200*800
| | 4
|
| ZHDLS-240-150
| | 2400*1500*800
| | 4
|
| ZHDLS-300-100
| | 3000*1000*800
| | 6
|
| ZHDLS-300-120
| | 3000*1200*800
| | 6
|
| ZHDLS-300-150
| | 3000*1500*800
| | 6
|
| ZHDLS-350-120
| | 3500*1200*800
| | 6
|
| ZHDLS-400-150
| | 4000*1500*800
| | 6
|
| ZHDLS-450-150
| | 4500*1500*800
| | 6
|
| ZHDLS-500-150
| | 5000*1500*800
| | 6
|