SMC洁净型气体过滤器SF系列,SMC办事处
SMC洁净型气体过滤器特点:
・采用可更换滤芯的卡盒型。
(SFA100・200・300,SFB100)
・半导体工艺用的小型一次性过滤器。
(SFB300,SFC100)
形式 系列 使用压力 过滤精度
卡盒型
碟片型 SFA100・200・300 高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa) 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
卡盒型
直线型 SFB100 高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa) 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性型
直线型 SFB300 高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa) 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
一次性型
多级碟片型 SFC100 高0.99MPa
(真空:1.3×10-6kPa) 0.01μm
(捕捉效率99.99%)
SMC洁净型气体过滤器由壳体、多元滤芯、反冲洗机构、电控箱、减速机、电动阀门和差压控制器等部分组成。壳体内 的横隔板将其内腔分为上、下两腔,上腔内配有多个过滤芯,这样充分利用了过滤空间,显著缩小过滤器的体积,下腔内安装有反冲 洗吸盘。工作时,浊液经入口进入过滤器下腔,又经隔板孔进入滤芯的内腔。大于过滤芯缝隙的杂质被截留,净液穿过缝隙到达上腔, 后从出口送出。
SMC洁净型气体过滤器SF系列,SMC办事处
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SF2B-CCB3
SF2B-H8-N
SF2-CC3
SF-2DZ-21
SF2-EH16-N
SF4-1D-12
SF4-1D-70-1
SF4-1DB-50
SF4-1DC-70-1
SF4-1DZ-20
SF4-1DZ-21
SF4-1DZ-23
SF4-1DZ-50
SF4-1DZ-60
SF4-1DZB-50
SF4-1F-20
SF4-1F-30
SF4-1F-70
SF4-1FB-30
SF4-1FB-60
SF4-1FB-70
SF4-1FC-60
SF4-1G-14
SF4-1G-50
SF4-1GB-50
SF4-1GC-50
SF4-1T-20
SF4-1TC-50
SF4-2D-20
SF4-2DB-50
SF4-2DB-70-1
SF4-2DZ-21
SF4-2DZ-80
SF4-2DZB-50
SF4-2DZC-80
SF4-2FB-30
SF4-2G-21
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