SF4-1DZ-50 SMC洁净型气体过滤器SF系列,SMC营业厅

SMC洁净型气体过滤器SF系列,SMC营业厅

SMC洁净型气体过滤器自动排污过滤器芯采用高强度的楔形滤网，通过压差控制、定时控制自动清洗滤芯。当过滤器内杂质积聚在滤芯表面引起进出口压差增大到设定值，驱动反冲洗机构。当反冲洗吸盘口与滤芯进口正对时，排污阀打开，此时系统泄压排水，吸盘与滤芯内侧出现一个相对压力低于滤芯外侧水压的负压区，迫使部分净循环水从滤芯外侧流入滤芯内侧，吸附在滤芯内内壁上的杂质微粒随水流进穣盘内并从排污阀排出。特殊设计的滤网使得滤芯内部产生喷射效果，任何杂质都将被从光滑的内壁上冲走。当过滤器进出口压差恢复正常或定时器设定时间结束，整个过程中，物料不断流，反洗耗水量少，实现了连续化，自动化生产。

SMC洁净型气体过滤器特点：

・采用可更换滤芯的卡盒型。

 (SFA100・200・300，SFB100)

・半导体工艺用的小型一次性过滤器。

 (SFB300，SFC100)

形式 系列 使用压力 过滤精度

卡盒型

碟片型 SFA100・200・300 高0.99MPa

（真空：1.3×10-6kPa） 0.01μm

（捕捉效率99.99％）

卡盒型

直线型 SFB100 高0.99MPa

（真空：1.3×10-6kPa） 0.01μm

（捕捉效率99.99％）

一次性型

直线型 SFB300 高0.99MPa

（真空：1.3×10-6kPa） 0.01μm

（捕捉效率99.99％）

一次性型

多级碟片型 SFC100 高0.99MPa

（真空：1.3×10-6kPa） 0.01μm

（捕捉效率99.99％）



SMC洁净型气体过滤器SF系列,SMC营业厅



SF2B-CCB3

SF2B-H8-N

SF2-CC3

SF-2DZ-21

SF2-EH16-N

SF4-1D-12

SF4-1D-70-1

SF4-1DB-50

SF4-1DC-70-1

SF4-1DZ-20

SF4-1DZ-21

SF4-1DZ-23

SF4-1DZ-50

SF4-1DZ-60

SF4-1DZB-50

SF4-1F-20

SF4-1F-30

SF4-1F-70

SF4-1FB-30

SF4-1FB-60

SF4-1FB-70

SF4-1FC-60

SF4-1G-14

SF4-1G-50

SF4-1GB-50

SF4-1GC-50

SF4-1T-20

SF4-1TC-50

SF4-2D-20

SF4-2DB-50

SF4-2DB-70-1