OPA 光功率热分析仪_详细资料

产品信息

光功率热分析仪产品特点

嘉仪通科技研发的OPA是世界首台纳米级薄膜材料物性分析仪，填补了国际对纳米级薄膜材料无损检测其相变温度和热膨胀系数的技术空白！OPA不仅可用于检测块体，还可检测低至1nm的薄膜材料。

OPA根据材料相变前后光学性质（反射光功率）有较大差异的特性检测材料的相变温度，依据光干涉原理检测透光材料的热膨胀系数，融合了相变温度分析仪和热膨胀系数分析仪的两项功能。

OPA可同时检测材料的相变温度和热膨胀系数两项热力学参数，且进行无损检测，保证样品不被破坏，节约成本。

OPA具有独立知识产权，获得多项技术！

光功率热分析仪应用功能

● 各种材料相变温度（融化、软化、晶化等）的实时测定

● 新型材料（相变材料、相变储能材料）的稳定性测试及性能优化

● 强诱导体薄膜的结晶化退火

● 注入离子后的扩散退火

● 半导体材料的烧成与退火条件研究

● 玻璃基板的均热退火

● 热循环试验与热冲击试验

● 升温脱离试验与触媒试验

PCA、TEA、OPA 可应用于以下材料：

● NiAl复合薄膜

● 氧化钒薄膜

● PZT铁电材料

● MgO/Ni-Mn-Ga薄膜

● GST相变存储薄膜

● 金属Co薄膜

● Al2O3薄膜

● iN薄膜

● GeTe薄膜

● ZrO2薄膜

● 掺Ti的ZnSb薄膜

● SiC薄膜

● 显示屏玻璃

● 变记忆合金薄膜

样品满足以下要求：

● 尺寸：长x宽（5-20）x（5-20） ,单位mm

● 厚度 2.0mm（含基底）以下为宜

● 变温度测试样品，具备光学反射平面

● 热膨胀系数测试样品，具备光学反射双平面

● 适用于透光材料的热膨胀系数检测

● 热膨胀检测样品的热膨胀量≥266nm

光功率热分析仪应用实例

● 红外材料

● 复合材料

图1：VO2不同升温速率12℃/min、15℃/min 对比图（四川大学提供样品）

图2：铝镍合金复合薄膜（西南科技大学提供样品）

● 相变存储材料

● 热电薄膜材料

图3：相变存储材料图（中科院微系统所提供样品）

图4：热电转换薄膜材料（掺Ti的ZnSb）（深圳大学提供样品）

● 氧化锆薄膜

图5：ZrO2薄膜（清华大学提供样品）

氧化锆薄膜与XRD对比图

● 高温陶瓷材料

● 硬质合金薄膜材料

图6：高温陶瓷材料（TiN薄膜硅基底）（海南大学提供样品）

图7：切削刀具相变监测曲线（武汉大学提供样品）

● SiC薄膜

● 显示屏玻

SiC薄膜热膨胀系数监测曲线（ZG电子科技集团第五十五研究所提供样品）

显示屏玻璃热膨胀系数监测曲线（武汉天马提供样品）

光功率热分析仪技术参数

型号

OPA-300

OPA-1200

OPA-1800

温度范围

RT~300℃

RT~1200℃

RT~1800℃

程序升温重复性偏差

＜1.0%

程序升温速率偏差

＜1.0%

相变温度测量精密度偏差

＜3%

相变温度测量正确度偏差

＜3%

热膨胀系数测量精密度偏差

＜4.5%

热膨胀系数测量正确度偏差

＜±15%

Z大工作功率

4.0kw

Z大升温速度

50℃/s（50℃~1200℃、真空氛围），45℃/s℃/（50℃~1200℃，N₂氛围）

温度一致性

±2.0℃（1200℃，真空），±4.5℃（1200℃，N₂）

制冷要求

水冷

相变薄膜材料检测厚度下限

1.0×10-9m

热膨胀分辨率

266nm

主机尺寸

650 x 790 x 1350，单位mm

重量

92.3kg

光功率热分析仪样品要求

●尺寸：长×宽 5x5~20x20，单位mm，厚度2.0mm（含基底）以下为宜

●相变温度测试样品，具备光学反射平面

●热膨胀系数测试样品，具备光学反射双平面，适用于透光材料的热膨胀系数检测

●检测样品的热膨胀量≥266nm

●薄膜可选择适当基底，建议用20mmx20mmx1.5mm石英玻璃或硅片

● 红外材料	● 复合材料

图1：VO2不同升温速率12℃/min、15℃/min 对比图（四川大学提供样品）	图2：铝镍合金复合薄膜（西南科技大学提供样品）
● 相变存储材料	● 热电薄膜材料

图3：相变存储材料图（中科院微系统所提供样品）	图4：热电转换薄膜材料（掺Ti的ZnSb）（深圳大学提供样品）
● 氧化锆薄膜

图5：ZrO2薄膜（清华大学提供样品）	氧化锆薄膜与XRD对比图
● 高温陶瓷材料	● 硬质合金薄膜材料

图6：高温陶瓷材料（TiN薄膜硅基底）（海南大学提供样品）	图7：切削刀具相变监测曲线（武汉大学提供样品）
● SiC薄膜	● 显示屏玻

SiC薄膜热膨胀系数监测曲线（ZG电子科技集团第五十五研究所提供样品）	显示屏玻璃热膨胀系数监测曲线（武汉天马提供样品）

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型号	OPA-300	OPA-1200	OPA-1800
温度范围	RT~300℃	RT~1200℃	RT~1800℃
程序升温重复性偏差		＜1.0%
程序升温速率偏差		＜1.0%
相变温度测量精密度偏差		＜3%
相变温度测量正确度偏差		＜3%
热膨胀系数测量精密度偏差		＜4.5%
热膨胀系数测量正确度偏差		＜±15%
Z大工作功率		4.0kw
Z大升温速度		50℃/s（50℃~1200℃、真空氛围），45℃/s℃/（50℃~1200℃，N₂氛围）
温度一致性		±2.0℃（1200℃，真空），±4.5℃（1200℃，N₂）
制冷要求		水冷
相变薄膜材料检测厚度下限		1.0×10-9m
热膨胀分辨率		266nm
主机尺寸		650 x 790 x 1350，单位mm
重量		92.3kg