特征:1、探针台温度变化范围:-175℃ ~ 300℃,连续变温无节点。
2、探针台进行“低温冷却”及“高温加热”无须更换腔体,用户可以自如操控探针台从液氮低温段至300摄氏度的高温段,变温迅速而且操作简便。
3、真空腔体有足够的空间,用户更容易进行显微镜、针座或电学设备的调整。
4、石英玻璃视窗,用户可以透过视窗观察腔体内部配置及样品状况。
5、专利的互交连接器技术,使真空探针台更易于应用于直流及射频信号(DC & RF),同时有助于温度显著变化调节下(Min: -175℃, Max:300℃)的光学及电学设备调整。
6、高精度定位螺旋系统;
7、样品盘:Z多可以放置10套针座;
8、样品盘弹性构造设计:针座Z轴移动时,样品盘弹性构造可以有效保护样品及探针尖;
9、显微镜高兼容性,可以配置高分辨的显微镜及CCD系统;
技术参数:
1、探针台基座、样品盘及变温系统
- 材料:铜;
- 尺寸:4英寸;
- 样品盘移动 (X:20mm Y:20mm)
- 温度控制系统,包括测量及显示系统
- 温度范围:-175℃ ~ 300℃ (低温使用LN2杜瓦及LN2管等低温附件);
2、真空腔体:
- 尺寸:650*500*350;
- 互交通道(3EA, 支持6P连接器);
- 观察视窗(240mm, 耐热玻璃视窗);
3、“Y”– 移动驱动器, “Z”– 移动驱动器;
4、X*Y移动平台 移动范围:20*20mm, 分辨率:10um, 重现性:1um;
5、针座:
- 磁体固定,Adopted Plate Spring;
- 移动范围:X-Y-Z 10-10-10 mm;
- BNC/Triaxal电缆;
- 针座螺旋分辨率:10um/pitch,重现性:1um;
- 尺寸:70*28 mm;
6、Navitar zoom lens system 光学镜头系统;
7、真空泵:
- 400升/分钟;
- 油过滤器,真空夹钳,波纹管等真空附件;
8、探针:
- 材料: tungsten,
- Radius: 0.02”(Variable Radius:
9、LN2杜瓦:15 L/min, 包括压力控制器;
10、真空连接器;
11、选配的数字CCD相机:
- 控制软件,数字相机与显微镜兼容;
- 成像传感器:1/2” 彩色CCD;
- 分辨率:1.4Megapixel Camera(1280*1024);
- 装配类型:C-Mount类型;
- 软件提供:USB2.0;