SC系列高低温探针台
SEMISHARE SC系列手动/半自动晶圆探针台,针对6/8/12英寸晶圆有SC6/SC8/SC12之型号,方便加装探针卡进行多芯片重复测试,另可加载高低温卡盘(-80~200 ℃)和根据客需求定制。
型号:SC-8 | |
高低温分析探针台 | |
特点 | |
-80~200℃无霜精确控温 舒适大手柄驱动CHUCK | |
可以升级做射频测试 | |
20X~4000X 光学显微放大 | |
无后座力移动 | |
针座平台可以快速升降便于wafer取放 | |
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规格 | |
真空吸附型Chuck | 8" 不锈钢 | |
Chuck X-Y轴行程 | 8" x8" | |
Chuck 旋转角度 | 0~360 度 | |
针座平台上下升降行程 | 6mm 通过升降杆调整 | |
针座平台 | 可以放置8个针座 | |
显微镜X-Y轴行程 | 2" x2" | |
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需求 | |
电力 | 220 VAC, 60Hz | |
真空 | -250 mmHg, 7 liter/min | |
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尺寸 | |
840mm长 x 660mm宽 x 700mm高(带显微镜) | |
重 160 Kg(带显微镜) | |
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可选附件 | |
Chuck快速拉出装置 | |
显微镜倾仰装置 | |
激光修复 探针卡夹具 | |
加热台 | |
高低温样品台(-80-200℃) 防震桌 | |
显微镜暗场 / Normarski 检测 | |
带真空底座的活动Chuck | |
光强/波长测试接口部件 | |
射频测试探头和线缆 | |
有源探头 | |
低电流/电容测试 |
高压测试(3KV)/大电流测试(10A) | |
CCD视频系统 | |
封装器件夹具 | |
PCB板夹具 | |
液晶热点侦测套装 | |
屏蔽箱 | |
镀金Chuck | |