概要气体混合配比仪的核心部件为气体质量流量控制器,可以对各组份气体的流量进行精确控制,并配备GX混气装置,可以将各组份气体均匀混合后输出。 本系列产品可选择直接连电脑和采用触摸屏两种方式进行设定显示,操作简单,性能且价格具有竞争力,应用领域广泛。
产品特点精度高:采用高精度质量流量控制器,质量流量控制器的精度 为±1%F.S.重复精度优于±0.2% F.S.,线性优于±0.5% F.S.(可定制更高精度);气体种类数量无限制:可同时配制2种到10多种标准气体;
稀释比范围宽:可从1ppm到进行稀释;
响应时间快:配比出稳定浓度气体的时间短,大大减少用户试验时间以及气源消耗;
抗腐蚀:管路系统均采用标准316L不锈钢配件,对腐蚀性气体及有毒有害气体均可以进行配气;
混气均匀:汇流处配有GX混气装置,让进入其中的各支路气体快速、均匀地混合;
扩展性强:除了气体比例混合功能外,还可以根据用户的一些特殊要求加入定制功能,例如温度、压力显示,浓度传感等;
通讯方便:标准 RS485 通讯接口(可选),可与计算机实现双向通讯;
数据管理功能:软件控制界面可选带有实验数据保存与导出功能,让您的实验数据可随时查看。而且还带有实验数据曲线图,清晰明了,直观便捷。
应用行业可广泛用于气体浓度传感器校准、半导体以及特种材料研究(CVD)、等离子刻蚀、脱硫脱硝、焊接、气调保鲜、消毒杀菌、YL及微电子工业用混合气的配制,主要使用对象是大中专 院校的实验室、科研院所以及从事气体分析仪器研发和气体检测领域的高新技术企业。
规格参数
型号 | 气体混合配比仪 |
总气量范围 | 0~200SLM(可在此范围内任意定制) |
稀释配比范围 | 1ppm到100 |
流量单位 | SCCM (标准毫升/分) / SLM(标准升/分) |
精度误差 | ±1%F.S.(可定制更高) |
工作压差范围 | 0.1~0.5MPa |
耐压 | 3MPa(可定制更高) |
对外单点泄漏率 | ≤1×10-9Pa·m3/S(He) |
响应时间 | ≤2sec |
输出信号 | 标准RS485.RS232(可选) |
介质输入温度 | 5~45℃ |
工作环境温度 | 5~45℃ |
工作环境湿度 | <80RH |
供电电源 | 220VAC±10,50Hz |
介质接触材质 | 氟橡胶,硅橡胶,丁晴橡胶,聚四氟乙烯,金属密封型 |
接头尺寸 | Swagelok 1/8,1/4,3/8,1/2或φ3,φ6,φ8,φ10,φ12 |
显示方式 | 电脑/触摸屏/仪表 |