无氧化烘箱|イナートオーブン|Inert Gas Ovens
适用范围:
适用于半导体、光电元件、能原材料、通讯产品、机电产品等作无氧化干燥、固化、焊接、退火等高温处理。
封装测试;所有的Lead PKG、BGA、MCM;光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜;银浆固化、模后固化、电镀退火;基板除潮、晶圆干燥退火等。
产品特点:
1、密封 性设计:内材质用SUS304不锈钢板,整个内桶用氩弧焊满焊,防止空气进入烘箱内,同时节省惰性气体;
2、外部防尘处理:外材质为SPCC钢板经过苏打水清洗后粉体烤漆处理;
3、节 能:保温材质为高密度纤维棉,保温效果好;
4、分层结构设计:内箱层板高低可调,可自由取出;
5、移动 自由:箱体有活动脚轮,可任意推动和固定位置;
6、GX过滤器:安装耐高温GX过滤器,获得洁净的烘烤环境;(选配)
7、内循环风设计:强制送风内循环,确保温度均匀;
8、氮气预热结构设计;
9、冷 系 统:配备冷却系统,可减少等待时间,提GX率;(选配)
10、宽泛的温度范围选择;
技术参数
型号 规格参数 | HOC- WYH81 (A3~D) | HOC- WYH180 (A3~D) | HOC- WYH409 (A3~D) | HOC-WYH1361 (A3~D) |
内箱尺寸(W*D*H)mm | 350*580*400 | 600*600*500 | 640*640*1000 | 990*1100*1250 |
工作腔数量 | 1 单腔 | 2 双腔 | 4 四腔 | 1 单腔 | 2 双腔 | 4 四腔 | 1 单腔 | 1 单腔 | 2 双腔 |
外型尺寸(W*D*H)mm | 以实物为准(温度不同外箱尺寸不同) |
工作温度范围 | A3:室温~200℃ A2:室温~250℃ B2:室温~350℃ C2:室温~450℃ D:室温~600℃ |
氧含量 | I:500ppm; II:200ppm; III:50ppm Ⅳ:20ppm |
机器性能 | 控制精度 | 0.1℃ |
分布均匀度 | ±2.0℃% |
升温 时间 | ℃ | 175 | 250 |
min | 30 | 40 |
材质 | 外部材质 | SPCC钢板粉体烤漆处理 |
内部材质 | SUS﹟304不锈钢数控折弯成型 |
隔热材质 | 陶瓷纤维棉 |
密封材料 | 采用耐高温硅橡胶 |
循环系统 | 多翼式循环风扇 |
氮气装置 | 流量计大小可调(L/min) |
加热器 | 不锈钢高速加热器 |
计时器 | 0.1S~9999H |
温控器 | 普通标准型/触摸屏PLC程序控制型 |
其它配件 | 隔层置物架(不锈钢冲孔盘2片) |
安全装置 | 电路系统负载保护,风机过载保护,温到计时时到断加热,故障警示灯 |
选配件 | ①多点测温查看及记录功能;②氧含量分析仪;⑥联网功能;⑦HEPAGX过滤器;⑧快速降温系统 |
电源(V) | 220 | AC 3相5线380V 50HZ |
注:1、以上数据均在环境温度(QT)25℃.工作室无负载条件下测得 2、可依客户要求之尺寸制作,满足客户的要求。本技术信息,如有变动恕不另行通知 |
资料下载:
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