保修期：
1年
现货状态：
来单生产
供应商：
上海恒商精密仪器有限公司
数量：
998套
规格：
HCC206R 200℃加热,150mm圆形台面,同轴接口/HCC308RT 300℃加热,300mm圆形台面,三轴接口/HCC30CR 300℃加热,300mm圆形台面,同轴接口/HCC214S 200℃加热,100mm方形台面,同轴接口/HCC318S 300℃加热,200mm方形台面,同轴接口/HCC602 -190~600℃,加热制冷/TC104S -25~90℃,半导体帕尔贴温控/外壳制冷 防止热台外壳过热/WinTemp控制软件 赠送/mK2000 温度控制器,必选/线性直流电源 减小电噪声,精确测量/显微镜相机 温控联动控制
| 规格： |
HCC206R 200℃加热,150mm圆形台面,同轴接口 |
产品价格： |
¥998.0 |
| 规格： |
HCC308RT 300℃加热,300mm圆形台面,三轴接口 |
产品价格： |
¥998.0 |
| 规格： |
HCC30CR 300℃加热,300mm圆形台面,同轴接口 |
产品价格： |
¥998.0 |
| 规格： |
HCC214S 200℃加热,100mm方形台面,同轴接口 |
产品价格： |
¥998.0 |
| 规格： |
HCC318S 300℃加热,200mm方形台面,同轴接口 |
产品价格： |
¥998.0 |
| 规格： |
HCC602 -190~600℃,加热制冷 |
产品价格： |
¥998.0 |
| 规格： |
TC104S -25~90℃,半导体帕尔贴温控 |
产品价格： |
¥998.0 |
| 规格： |
外壳制冷 防止热台外壳过热 |
产品价格： |
¥998.0 |
| 规格： |
WinTemp控制软件 赠送 |
产品价格： |
¥998.0 |
| 规格： |
mK2000 温度控制器,必选 |
产品价格： |
¥998.0 |
| 规格： |
线性直流电源 减小电噪声,精确测量 |
产品价格： |
¥998.0 |
| 规格： |
显微镜相机 温控联动控制 |
产品价格： |
¥998.0 |
功能特点
可编程精密控温
超低的盘面温度梯度
独立的上盘面真空气槽，用于固定多种尺寸晶圆
尺寸超薄，可集成进探针台
支持顶杆孔
适用12 mm ~ 304 mm尺寸晶圆
#可选# 台面接地/电悬空
#可选# 下盘面真空吸气槽
#可选# 三轴接口，用于防漏电
可做改动或定制，详询上海恒商
技术参数
温度分辨率 0.001℃(at 100℃)
温度稳定性 ±0.05℃(at 100℃) 可提升稳定性
温度均匀度 ±0.1℃/cm 可升级均匀性
Z小控温速度 ±0.1℃/小时
传感器/控制算法 100Ω铂质RTD
PID控制 可选线性直流电源
表面光滑度 10 µm(常温下)
资料下载：
[CN] 圆形夹盘.pdf
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