ZXL-830D型是一款配置无油干泵的氦质谱检漏仪。适用于对高清洁的真空设备进行检漏。
1. Z小可检漏率：2×10-12Pa·m3/s 2. 漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s 3. 启动时间：≤3min 4. 响应时间：≤1s 5. 检漏口的压力：1500Pa 6. 极限压强：5×10-4Pa 7. 电源要求：220V，50Hz，单相，10A 8. 工作环境：5-35℃ 9. 相对湿度：≤80% 10. 外形尺寸：550（W）×420（D）×700（H） 11. 重量：65kg
1. 进口检漏仪专用分子泵 2. 进口干泵 3. 配置标准漏孔 4. 美国AD放大器 5. 采用质谱专用模块 6. 台达触摸彩屏
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