TX300-5 匀胶处理机Spin Processors _详细资料

产品信息

TX300-5 匀胶处理机Spin Processors
高精度自动滴胶匀胶机旋涂仪真空旋转涂层机
整合多项功能：
    1 自动匀胶
    2 显影
    3 清洗
    4 刻蚀
    5 去胶
    6 水烘烤
    7 掺杂
产品简介：主要用于液体，胶体在材料表面薄膜的形成，适用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研，教育，生产中应用。
主要特点
TX300-5高精度自动滴胶匀胶机旋涂仪：
              32位工业计算机芯片组控制。
              7英寸触摸屏显示，设定，控制。
TX300-5高精度自动滴胶匀胶机旋涂仪
        可设定存储25个不同样片的旋转涂敷工艺过程。
        每个涂敷工艺过程可以设置100步不同的速度状态；
        运行过程可以暂停，重复启动。
        循环转移：次数：2的16次方= 65536次。（用途：工艺过程重复部分的设定）
TX300-5高精度自动滴胶匀胶机旋涂仪
       液晶显示屏可以实时显示
       直观显示转速时间曲线。
       第N个涂敷工艺过程
       所处工作段
       真空吸片状态。
       设置时间；及实时运行时间。
       设置速度；及实时速度状态。
中英文两套操作系统供选择。
人机交互式对话，简洁，明了。
TX300-5高精度自动滴胶匀胶机旋涂仪：
安装有真空度传感器，涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度，
必须在安全的真空度下，电机启动，运行。保障可靠吸片，不飞片。
TX300-5高精度自动滴胶匀胶机旋涂仪：
转速精度更高：
300 - 10000 转/分，转速稳定性：+ - 0.1 %
转速10000转/分
*TX300-5高精度匀胶机旋涂仪 NPP材质工作腔，外表面洁净光亮。美观，方便清洗。

TX300-5高精度匀胶机旋涂仪
能精确滴定5种胶体或气体。(包括胶体，显影液，定型液，氮气)
工作腔直径315mm。可以旋涂基片直径250mm圆片或 200mm*200mm方片。
(图片)。可用丙酮擦拭。
NPP的化学稳定性优异，对大多数酸、碱、盐、氧化剂都显惰性。例如在100℃的浓磷酸、盐酸、40%硫酸及其它们的盐类溶液中都是稳定的。

TX200-5高精度自动滴胶匀胶机旋涂仪：技术参数：
       单相交流电源：220V.50Hz
       电机功率：150W
       旋转真空吸盘直径：4英寸（102mm，标准配置）
       可选择配置：基片直径10—280mm可接受订货。
       转数：300 - 10000 转/分。
              整个工艺过程是一条连续的曲线。可加减速度。可重复跳转工艺过程。
              可精确滴定5种胶体，液体或是气体。
可设定时间：1---9999秒。
可选配件
1、85升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盘
3、滴胶筒，滴胶针头。

62mm 吸盘
高性能匀胶机旋涂仪可选购：直径10，20，25，50，75mm聚四氟乙烯吸盘。（现货人民币450元/个）
高性能匀胶机旋涂仪碎片微小片卡盘。（现货人民币580元/个）
高性能匀胶机旋涂仪各种卡盘接受订货。因客户要求差异太大，无法备货。
吸盘卡盘滴胶机等全体附件

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