共聚焦三维表面形貌仪具有光学形貌上的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机, 空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的配置。
项 目 简 述
参数说明
共聚焦三维表面形貌仪
可 快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。
使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150X) 3D全视野3D镜头,用以表征坡度分析 (斜率<干涉测量>: 72o vs 44o) 。
具有光学形貌上的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机, 空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的配置。
在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制(0.1%- )
应用于透明层/薄膜。
兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。
长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。
独有的稳定性。
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