瑞士Lyncée tec、DHM反射式数字全息显微镜 _详细资料

产品信息

反射式数字全息显微镜反射式配置数字全息显微镜，无需扫描，非接触式测量动、静态物体三维样貌及振动特性的测量方法。根据波长的不同将反射式DHM分为三种型号：R1000-配备单一光源，是测量光滑

反射式数字全息显微镜
反射式配置数字全息显微镜，无需扫描，非接触式测量动、静态物体三维样貌及振动特性的测量方法。根据波长的不同将反射式DHM分为三种型号：
R1000-配备单一光源，是测量光滑表面和振动的标准测量工具
R2100-同时配置双波长，实现复杂或不连续结构的测量。
R2200-在R2100基础上多了第三方光源来扩展测量能力，特别是测量透明模式。
反射式DHM的特性：
快速3D样貌测量法
MEMS分析，频率可达25Mh
DHM测量表面三维样貌，单一响应，无需扫描机制。无与伦比的快速采集，相机速度达1000fps允许：
可变形样品的3D动态研究
常规检查与高生产率
短余辉荧光屏及大型表面的分析
捕捉生产线的三维地貌
同步DHM 可选频闪单元，测量MEMS装置的激励信号。这一独特数据分析提供：
三维地貌的时序
共振频率和响应
振动振幅平面外分辨率可达5pm,平面内可达1nm
表征复杂运动和样品
测量可控制环境条件
透明模式的地貌测量
DHM独特的光学配置允许用户测量光学质量指标：
通过玻璃和浸没液体
内部环境和真空室，控制温度，湿度，压强，气体成分。
可选DHM反射式测量法分析软件允许以下测量：
透明结构的地形
厚度和折射率，多层结构的厚度值
从10nm到几十微米
柔软材料和液体的地形

反射式DHM主要参数：
系统
DHM型号
R1000
R2100
R2200
光源数量
1
2
3
操作波长（±0.1nm）
666nm
794nm
666 nm, 794 nm, 680 nm
激光波长稳定性
0.01 nm / °C at 666
样品台
手动或自动XYZ平台，行程300 mm x 300 mm x 38 mm
物镜
放大倍数1.25x到100 x，标准，高数值孔径，长工作距离，水/油浸物镜
物镜转轮
六孔转盘
计算机
DELL工作站，多核Intel处理器，高性能图像卡，配置Z小21英寸显示屏及鼠标，
软件
基于C++和.NET的Koala软件，额外可选软件模块可用于先进分析
数据兼容性
测量数据记录在二进制表格，可导出.txt格式，记录和重建图像可导出.tif格式或.txt数组

技术参数：
性能参数
测量模式
666nm单波长
合成短波长4.2um
合成长波长24um
DHM型号
R1000，R2100，R2200
R2100，R2200
R2200
精度[nm]
0.15
0.15 / 3.0 *
20
垂直分辨率[nm]
0.30
0.30 / 6.0 *
40
重复性[nm]
0.01
0.01 / 0.1 *
0.5
垂直测量范围
up to 200 μm
up to 200 μm
up to 200 μm
锐利边缘台阶高度
up to 333 nm
up to 2.1 μm
up to 12 μm
表面类型
光滑表面
复杂，非连续表面
复杂非连续表面
垂直校准
取决于干涉滤光片，±0.1 nm
响应时间
标准500us,10us(可选)
响应速度
标准30帧（1024*1024像素），可选达1000帧
重建速率
高达25帧1024*1024像素全息图（依赖于数据分析）（可选60帧）
水平分辨率
取决于物镜，低至300nm
视野
取决于物镜，从66um x66um到5um x5um范围
工作距离
取决于物镜，从0.3到18 mm
数字对焦
取决于物镜，高达50 x景深
Z小样品反射率
低于1%
样品照明
低至1 μW/cm2
频闪装置
兼容单一，合成短波长

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DHM测量表面三维样貌，单一响应，无需扫描机制。无与伦比的快速采集，相机速度达1000fps允许：可变形样品的3D动态研究常规检查与高生产率短余辉荧光屏及大型表面的分析捕捉生产线的三维地貌	同步DHM 可选频闪单元，测量MEMS装置的激励信号。这一独特数据分析提供：三维地貌的时序共振频率和响应振动振幅平面外分辨率可达5pm,平面内可达1nm 表征复杂运动和样品
测量可控制环境条件	透明模式的地貌测量
DHM独特的光学配置允许用户测量光学质量指标：通过玻璃和浸没液体内部环境和真空室，控制温度，湿度，压强，气体成分。	可选DHM反射式测量法分析软件允许以下测量：透明结构的地形厚度和折射率，多层结构的厚度值从10nm到几十微米柔软材料和液体的地形

系统
DHM型号	R1000	R2100	R2200
光源数量	1	2	3
操作波长（±0.1nm）	666nm	794nm	666 nm, 794 nm, 680 nm
激光波长稳定性	0.01 nm / °C at 666
样品台	手动或自动XYZ平台，行程300 mm x 300 mm x 38 mm
物镜	放大倍数1.25x到100 x，标准，高数值孔径，长工作距离，水/油浸物镜
物镜转轮	六孔转盘
计算机	DELL工作站，多核Intel处理器，高性能图像卡，配置Z小21英寸显示屏及鼠标，
软件	基于C++和.NET的Koala软件，额外可选软件模块可用于先进分析
数据兼容性	测量数据记录在二进制表格，可导出.txt格式，记录和重建图像可导出.tif格式或.txt数组

性能参数
测量模式	666nm单波长	合成短波长4.2um	合成长波长24um
DHM型号	R1000，R2100，R2200	R2100，R2200	R2200
精度[nm]	0.15	0.15 / 3.0 *	20
垂直分辨率[nm]	0.30	0.30 / 6.0 *	40
重复性[nm]	0.01	0.01 / 0.1 *	0.5
垂直测量范围	up to 200 μm	up to 200 μm	up to 200 μm
锐利边缘台阶高度	up to 333 nm	up to 2.1 μm	up to 12 μm
表面类型	光滑表面	复杂，非连续表面	复杂非连续表面
垂直校准	取决于干涉滤光片，±0.1 nm
响应时间	标准500us,10us(可选)
响应速度	标准30帧（1024*1024像素），可选达1000帧
重建速率	高达25帧1024*1024像素全息图（依赖于数据分析）（可选60帧）
水平分辨率	取决于物镜，低至300nm
视野	取决于物镜，从66um x66um到5um x5um范围
工作距离	取决于物镜，从0.3到18 mm
数字对焦	取决于物镜，高达50 x景深
Z小样品反射率	低于1%
样品照明	低至1 μW/cm2
频闪装置	兼容单一，合成短波长