是否提供加工定制 | 否 | 类型 | 光学显微镜 |
品Pai | OLYMPUS奥林巴斯高倍显微镜硅片12寸 MX61L | 型号 | MX61L |
仪器放大倍数 | 看配置 | 目镜放大倍数 | 看配置 |
物镜放大倍数 | 看配置 | 重量 | 60K(g) |
适用范围 | 测量 | | |
能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用)
应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,能应对大型样本。
半导体/FPD检查显微镜MX61L 观察影像实例
UIS2物镜生成鲜明的观察影像
UIS2物镜拥有各种倍率、特殊用途物镜等丰富的产品阵容,可按照用途选用。另外,波像差控制带来的高品质,忠实于样本的中性色彩显示等,UIS2物镜无论是在目视观察中还是在数码影像观察中都能发挥它的性能。
观察影像
明视场观察 暗视场观察 微分干涉观察 荧光观察
MPLAPON系列产品
Z大程度校正了色差的平面复消色差物镜。是世界上首例以95%以上的弥散比例保证了光学性能(波像差)的通用型号物镜。对应微分干涉观察、简易偏振光观察和AF单元(奥林巴斯U-AFA2MA产品)。
MPLFLN/MPLFLN-BD系列产品
有着高水准的色差校正的半复消色差透镜设计的通用物镜。不仅在明视场观察中,在荧光、微分干涉和简易偏振光观察中都能发挥性能。明暗视场观察请使用BD系列产品。
MPLFLN-BDP系列产品
特别在偏振光、微分干涉观察中能发挥性能的通用物镜。
LMPLFLN/LMPLFLN-BD系列产品
有着高水准色差校正的长工作距离平面半复消色差物镜。由于工作距离较长,能有效防止与有落差的样本的碰撞。统一了从5×到100×的瞳孔位置,切换物镜时不再需要切换DIC三棱镜。明暗视场观察请使用BD系列产品。
MPLN/MPLN-BD系列产品
实现了视场数达22的良好平整度的平场消色差物镜。明暗视场观察请使用BD系列产品。
SLMPLN系列产品
长工作距离降低了样本的损伤风险。在无色彩渗出的高对比度观察影像上,甚至可以观察到细微的线的宽度。
LCPLFLN-LCD系列产品
这款物镜适用于透过LCD面板等玻璃板来观察样本。校正环的采用实现了与玻璃厚度相符的像差校正。
半导体/FPD检查显微镜 MX61L 规格
光学系统
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UIS2光学系统(无限远校正)
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机身
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观察方法
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明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
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反射/透射
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反射/透射
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照明装置
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机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
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照明系统
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反射照明
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100 W卤素/100 W水银/75 W氙
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透射照明
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纤维光导
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对焦单元
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电动/手动
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手动
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行程
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32 mm
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分辨率/微调灵敏度
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微调旋钮转动1周移动0.1 mm
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Z大样本高度
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30 mm
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物镜转换器
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电动型
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明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉ZX输出5孔
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手动式
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-
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载物台
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行程
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14×12 英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm(透射照明范围356×284 mm)
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观察筒
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广角视场(视场数22)
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倒置
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双目/三目观察筒
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正像
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三目观察筒
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超宽视场(视场数26.5)
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倒置
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三目观察筒
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正像
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倾斜三目观察筒
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附件单元
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DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载
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外形尺寸
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710(W)×843(D)×507(H)mm(标准组合)
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重量
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51 kg(标准组合)
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