$n上海精科(物光)光电轮廓仪 WGL 特 点由于仪器测量精度高,具有非接触和三维测量的特点,并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果,本仪器适用于各级测试、计量研究单位工矿企业计量室,精密加工车间,也适用于高等院校和科学研究单位等。■本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法,测量时不损伤工件表面,能快速测得各种工件表面微观形貌的立体图形,并分析计算出测量结果。■适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙
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$n $n型号:RL118176上海精科(物光)光电轮廓仪WGL | $n
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型号:RL118176上海精科(物光)光电轮廓仪WGL
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上海精科(物光)光电轮廓仪 WGL
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特 点
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由于仪器测量精度高,具有非接触和三维测量的特点,并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果,本仪器适用于各级测试、计量研究单位工矿企业计量室,精密加工车间,也适用于高等院校和科学研究单位等。
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■本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法,测量时不损伤工件表面,能快速测得各种工件
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表面微观形貌的立体图形,并分析计算出测量结果。
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■适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘的刻线深度
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■光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌
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■磁(光)盘、磁头表面结构测量;硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。
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$n$n$n参数名称 | $n 参数值 | $n
$n$n$n 在连续表面上,相邻二象素之间 $n没有大于1 / 4 波长的高度突变时 $n | $n$n 1000 一1nm $n | $n
$n$n$n 相邻二象素之间含有大于1 / 4 波长 $n的高度突变时 $n | $n 130 一1nm | $n
$n$n测量的重复性 | $n Ra 0.5nm | $n
$n$n物镜倍率 | $n$n 40X $n | $n
$n$n数值孔径 | $n 65 | $n
$n$n工作距离 | $n 0.5mm | $n
$n$n仪器视场 目视 | $n 0.25mm | $n
$n$n摄象 | $n 0.130.13mm | $n
$n$n仪器放大倍数 目视 | $n 500 | $n
$n$n摄象(计算机屏幕观察) | $n 2500 | $n
$n$n测量列阵 | $n 1000X1000 | $n
$n$n象素尺寸 | $n 5.25.2m | $n
$n$n测量时间采样(扫描)时间 | $n 1S | $n
$n$n仪器标准镜 反射率(高) | $n ~50 % | $n
$n$n反射率(低) | $n ~4 % | $n
$n$n照明光源 | $n 白炽灯6V 5W | $n
$n$n绿色干涉滤光片波长 | $n ≒530nm | $n
$n$n半宽度 | $n ≒10nm | $n
$n$n主显微镜升程 | $n 110 mm | $n
$n$n工作台升程 | $n 5 mm | $n
$n$nX 、丫方向移动范围 | $n ~10 mm | $n
$n$n工作台旋转运动范围 | $n 360 | $n
$n$n工作台顷斜范围 | $n 6 | $n
$n$n计算机系统 | $n P4 , 2 .8G 以上,内存1G以上17寸纯平显示器 | $n
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光电轮廓仪
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上海精科(物光)光电轮廓仪WGL
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