CG系列高低温探针台CINDBEST CG 系列手动/半自动晶圆探针台,针对6/8/12英寸晶圆有SC6/SC8/SC12之型号,方便加装探针卡进行多芯片重复测试,另可加载高低温卡盘(-80~200 ℃)和根据客需求定制。应用领域:晶圆测试、 射频测试、LED 测试、 高温环境测试、功率器件测试、 低温真空测试、MEMS 测试、 低电流(fA)测试、PCB 测试
公司介绍
深圳市森东宝科技有限公司( Shenzhen Cindbest Technology Co., Ltd)是香港森东宝国际有限公司在大陆的全资子公司,其致力于半导体技术的共享事业,专注于促进ZG半导体行业的快速成长,以为客户提供性价比的测试系统为使命。
森东宝目前设有半导体仪器营销事业部和半导体设备制造工厂。自主研发CINDBEST品Pai探针台、激光修复仪、探针台全部配件、集代理半导体测试仪表的综合型厂家。 现以优质的产品性能,高标准的售后服务迎得客户的广泛认可,是行业内值得信赖的产品供应与服务商。
深圳市森东宝科技有限公司宗旨:诚实、务实、创新、互助、共赢
诚实:公司以诚实守信为立司之本,和客户往来以诚相待。
务实:公司员工皆以务实为指导精神,稳打稳扎,不断提高产品及服务质量。
创新:公司不断与国内外的制造商技术交流,结合国内客户实际使用情况进行不断创新。
互助:公司对外以互助为目标,公司员工齐心协力,互帮互助为公司的共同目标努力。
共赢:公司和客户建立共赢关系,公司和员工建立共赢关系。
深圳市森东宝科技有限公司现服务于60多家研究所和高校。与高校、研究所、考古、半导体电子检测等领域有着稳定的合作关系。
深圳市森东宝科技有限公司以优质的产品性能,高标准的售后服务迎得客户的广泛认可,是行业内值得信赖的产品供应与服务商。
参数规格
型号:CGS-4 |
气敏分析探针台 |
特点 |
真空腔体 |
16X~200X 光学显微放大 |
4寸样品台 |
无后座力移动 |
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规格 |
真空吸附型Chuck | 4" 不锈钢 |
Chuck X-Y轴行程 | 4" x4" |
Chuck 旋转角度 | 0~360 度 |
Chuck升降 | 4mm |
针座平台 | 可以放置8个针座 |
显微镜X-Y轴行程 | 2" x2" |
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需求 |
电力 | 220 VAC, 60Hz |
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真空 | -250 mmHg, 7 liter/min |
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尺寸 |
920mm长 x 660mm宽 x 700mm高 (带显微镜) |
重 100 Kg(带显微镜) |
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可选附件 |
激光切割 |
探针卡夹具 |
加热台 |
高低温样品台 防震桌 |
显微镜气动升降装置 |
显微镜暗场 / DIC/Normarski 检测 |
光强/波长测试接口部件 |
射频测试探头和线缆 |
有源探头 |
低电流/电容测试 |
高压测试 |
CCD视频系统 |
液晶漏电分析套装 |
屏蔽箱 |
大电流测试套件 镀金Chuck |
配件
1、体式显微镜 (可选配高倍率晶相显微镜)
产品参数和特点:
① 鉴别力高,视场范围大,景深长。
② 工作距离长至115mm。
③ 左右目镜屈光度可调正负5度,能满足不同视力的操作者观察。
④ 能随意调节手轮的力矩,满足不同操作者的使用习惯,更可以锁定手轮,方便定倍观察。
⑤ 本显微镜为连续变倍,变倍比为6.3:1 ,物镜变倍范围0.8X-5X。
⑥ 双目观察倾斜45度,双瞳距调节范围52-75mm.
产品优点:
产品造型比较新颖
机械特性优越,操作舒适度高。
光学系统鉴别力达300线对以上,符合国际标准
超长的工作距离位于国内同行之首
独有的3A设计
创见性人机学设计,产品细节考虑全面。
3A特性:
密封性-------防尘,防油\防水污染
此种接口密封性设计能安全防尘\防油\防水或其它污染-----这就减少了常规的维护,从而降低了总的费用.
防霉性------使其同样适用于闷热或潮湿的环境
此独有的设计保证了显微镜在高温或是潮湿下都能安然无恙
防静电------防静电设计可以释放显微镜内不断产生的静电,防止标本被损坏,保证提高产量和降低产品成本
应用领域:
教学示范,生物工程,IT产业检测,材料分析等领域。
2、针座和探针夹具(可选)
针座规格 | BT-200型 | BT-100型 | BT-40-T型 | BT-40型 |
尺寸 | 90mmW x 130mmD x 90mmH | 90mmW x 130mmD x 90mmH | 52mmW x 96mmD x 76mmH | 38mmW x 62mmD x 45mmH |
重量 | 1000 克 | 600 克 | 300克 | 200 克 |
精度 | 0.35 Micron | 0.7 Micron | 2 Micron | 10 Micron |
牙具 | 200牙/寸 | 牙具 100牙/寸 | 40牙/寸 | 40牙/寸 |
X-Y-Z线性行程 | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm | 12mmX12mmX12mm |
3、JVC模拟CCD
特点
l 1/3寸CCD,44万像素
l 535电视线的水平分辨率
l 0.7Lux的照度(F1.2,25%,AGC开启)
l 50dB的高信噪比(AGC OFF)
l 内置10bit 数字图像处理器
Winfast XP100视频采集卡
特性
l 可选择的影像来源信号
可以提供不同的输入端子,使其能够连接不同的影像
输出设备,如录放影机、家庭摄影机、雷射光碟机、
影音光碟机及CCD摄影机,提供全方位的解决方案。
l 可编辑剪接影像片段
可以从输入的影像来源做即时的动态捕捉或静态补捉,并存成电脑可以接受并编辑的AVI电影档或一般的图形档,再透过类似Asymetrix Digital Video Producer 4.0, 3D F/X等相关应用软体,便可加入各种与剪接编辑
4、探针夹具
● 弹簧式
使用便利,可用于较短时间的大电流(超过1安培)稳定性好,采用进口同轴线缆,精度漏电为10PA,输出BNC(male)接头
● 管状式
测量微弱电流用,同时可接高压,采用进口triax线缆,前端管装屏蔽结构,漏电小于100FA,高压可耐1000V(需要配合屏蔽箱)
5、美国GGB探针
型号 | 针尖直径 | 针杆直径 | 针长 | 材质 | 根/盒 |
软针类:适用于集成电路内部线路点针 |
T-4-5 | 0.2 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬钨材质 | 5 |
0.2微米直径的针须焊接于镍质针杆上 | |
T-4-10 | 0.7 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬钨材质 | 5 |
0.7 微米针须焊接于镍质针杆上 | |
硬针类:适用于集成电路电极点针 |
ST-20-0.5 | 1 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬钨材质 | 10 |
ST-20-1.0 | 2 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬钨材质 | 10 |
ST-20-2.0 | 5 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬钨/铍铜材质 | 10 |
ST-20-5.0 | 10 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬钨/铍铜材质 | 10 |
ST-20-10 | 20 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬钨/铍铜材质 | 10 |
6、
6、真空泵
日东工器VP0125
规格:
l 电压:AC220V
l 流量:7L/min
l 真空度:-60KPa
l 质量:0.7Kg
功能
l 提供真空动力源。
l 配合 CHUCK上的真空吸附孔来固定样品。
l 配合真空吸附型探针座,固定探针座。
特点
● 无油静音,特别适合实验室和洁净室使用。
● 7升/分钟,可24小时无间断运转。
7、防震桌
特点:隔振支撑采用超薄复合材料气囊、自定心准无摩擦球头摆杆和带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术,隔振性能良好。自动水平,自动充气,全部气动执行元件采用德国FEST0产品,静音空气压缩机气源、噪声低。
应用范围:适用于对振动要求高的场所。 如光电测量、全息成像、光栅制作等。轻松 调节,结构稳定可靠。
技术参数:
台面为三层夹心蜂窝状支撑结构,采用ICR17优质高导磁不锈钢
平台表面粗糙度0.5〜0.6 um
平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2
固有频率1.5 ~2 Hz
振幅小于1 um
重复定位精度±0.10 mm
工作压力0.2~0.6(Mpa)
具体尺寸可根据客户需求定制
探针台使用方法
1、 将样品载入真空卡盘,开启真空阀门控制开关,使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。
2、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台,在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。
3、 使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。
4、 显微镜切换为高倍率物镜,在大倍率下找到待测点,再微调显微镜聚焦和样品x-y,将影像调节清晰,带测点在显微镜视场ZX。
5、 待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢,以防动作过大误伤芯片,当探针针尖悬空于被测点上空时,可先用Y轴旋钮将探针退后少许,再使用Z轴旋钮进行下针,则使用X轴旋钮左右滑动,观察是否有少许划痕,证明是否已经接触。
6、 确保针尖和被测点接触良好后,则可以通过连接的测试设备开始测试。
常见问题
当您使用本仪器时,可能会碰到一些问题,下表列举了常见的故障及解决方法。
症状 | 可能原因 | 解决方法 |
移动样品后画面变模糊 | 显微镜不垂直 | 调垂直显微镜 |
样品台不水平 | 调水平样品台 |
样品不平 | |
显微镜视场亮度不足,边缘切割或看不到像 | 转换器不在定位位置上 | 把转换器转到定位位置上 |
管镜转盘不在定位位置上 | 把管镜转盘转到定位位置上 |
照明的亮度不足 | 调节光源亮度或者把孔径光栏孔调大 |
没有装目镜 | 装上目镜 |
没有装物镜 | 装上物镜 |
显微镜像质变差 | 目镜脏 物镜脏 管镜脏 | 对目镜,物镜,管镜脏的地方进行清洁 |
孔径光栏关的太大或者太小 | 调节孔径光栏 |
没有调好焦 | 调节调焦手轮 |
样本上盖有盖玻片等介质 | 移开盖玻片等介质 |
图像一边清晰,一边模糊 | 样本倾斜放置 | 放平样本,或者调节样品台水平 |
物镜没有旋紧 | 旋紧物镜 |
眼睛容易疲劳 | 双目头的瞳距和操作者不匹配 | 调节双目头的瞳距 |
| 目镜视度调节不正确 | 调节目镜视度 |
| 照明亮度不合适 | 调节光源亮度或者孔径光栏孔 |
注意事项
1、避免碰撞
l 在安装,操作CS探针台时应避免碰撞,机体放置需平坦,不可倾斜或横倒,避免机器发生故障或异常异音。
2、仪器的运输
l 仪器运输时,请先拔掉电源线插头。
l 仪器运输应使用专门的包装箱,避免碰到探针台的任何运动部件。
3、仪器的存放
l 使用完后需要注意保持清洁,尽量把灰尘吹干尽,以免灰尘将机械精密部件,光学部件,电学接触面污染,导致仪器精度降低。
l 探针台机体清洁时,避免直接泼水清理,以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器,以免发生故障或危险。
l 探针台光学部件清洁时,可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物,注意使用安全。
l 停电或长期不用、外出旅行时,请将电源线插头拔掉以维护机器寿命.
l 操作人员必须严格按要求操作,以保证数据的准确和仪器的正常使用。
售后服务流程