全新的一体化设计,具有优异的光学成像质量,方便使用的正像光学系统,是理想的检测半导体器件的工具,支持3种激光波长,可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术。可以广泛应用于半导体、电子、冶金等行业的制造和研究领域。
麦克奥迪PSM-1000探针显微镜 PSM-1000探针显微镜 麦克奥迪官网
麦克奥迪PSM-1000探针显微镜简介:
物镜
PSM-1000采用长工作距离的无应力平场复消色差物镜,提供了优异的成像质量。关于物镜的具体参数请参照APO物镜样本。
数码摄像系统
根据所使用的CCD摄像机的CCD尺寸,选择合适的摄像接头,安装在摄像接口上,组成数码摄像系统,就可以在电脑、电视或监视器上同步观察。
照明系统
采用同轴垂直照明系统,光源采用外置冷光源。长达2m的照明光纤和光源遥控器(选配件)给PSM-1000带来更自由的操作空间。
探测工作站
PSM-1000的主体部分可以安装在探测工作站上,进行硅片的测试。
激光装置
PSM-1000的摄像接口处装有激光安全定位销,双目头前留有安装激光安全滤色片的位置,并提供补偿垫片。无需专用的激光工具箱,就可以方便的把激光器和激光安全滤色片安装上。
注:在安装和使用激光器之前,请您仔细阅读激光器和激光安全滤色片的使用手册。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全滤色片而产生的安全和性能问题,麦克奥迪实业集团有限公司对此概不负责。
麦克奥迪PSM-1000探针显微镜详细参数:
PSM-1000主要技术参数
铰链式三目头 | 图像 | 正像 |
瞳距 | 调节范围 55-75mm |
视场直径 | 24mm |
分光比 | 可通过光路切换拉杆自由切换(双目头:第三目=100:0或50:50) |
主体 | 管镜 | 1X(可对紫外及红外线进行优化),2X |
激光的使用 | 拉出光路切换拉杆即可 |
可应用的激光 | 1064/532/355 nm NWR laser |
调焦机构 | 粗微调手轮 | 调焦行程:50mm;粗动手轮4mm/转;微动手轮0.1mm/转 |
调焦机构承重量 | 20.5kg |
摄像接头 | C-Mount接头 |
照明系统 | 同轴垂直照明,可变孔径光栏 |
冷光源(选配) | 150W冷光源照明器及工业显微镜光纤(2m) |
物镜转换器 | 四孔物镜转换器,ZX可调,可拆卸 |
物镜(选配) | 长工作距离平复消色差物镜 | 2X, 5X, 10X, 20X, 50X |
超长工作距离复消色差物镜 | 50X, 100X |
可调焦长工作距离复消色差物镜 | 2X, 5X, 10X, 20X, 50X |
可调焦超工作距离复消色差物镜 | 50X, 100X |
NIR超长工作距离复消色差物镜 | 20X, 50X |
重量 | 主体:6.8kg;冷光源照明器:2.5kg |
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