砷化镓腐蚀机型号:CGB-XXXX—XX系列,品Pai:华林嘉业—CGB,用于半导体分立器件方面砷化镓硅等的湿法制程刻蚀。设备外壳系台湾合资磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工;标准QDR槽材质为NPP纯聚丙稀板材质,喷嘴可选出水为锥形或各角度扇形,纯水管路均为日本积水clenapvc管件,药液管路均为美国进口parker进口PFA材质管路;设备纯水喷枪和氮气喷枪为美国英特格品Pai;公司拥有成熟的加工技术方法,设备质量稳定可靠。
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