CGB-XXXX-XX 硅片显影机

硅片显影机
硅片显影机：CGB-XXXX—XX系列，品Pai：华林嘉业—CGB。该设备适用于2英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸硅晶圆片的显影定影，德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工；一、槽体结构：该槽体实现腐蚀或后残留在片子上的化学液及污染颗粒的冲洗祛除功能。它由安装在槽体底部的阀、DI注入孔（包括氮气鼓泡）及顶部左右两侧的DI喷嘴实现槽体的快速注入与排放。二、工艺控制：冲洗槽（QDR）的工作过程由独立K200型专用控制器保证。所有工序均由机械手自动行走自动完成。