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产品信息 1、高响应、加速度可达20g、高速度、体积小；2、高分辨率：0.1 μ m直线，25秒旋转3、全闭环：内含编码器反馈；4、可编的位置、速度、力控制。 美国SMAC公司开发生产的音圈电机执行器，利用音圈电机特有的高响应、高加速度、高速度、体积小的特点，与导轨和高精度编码器组合，构成完整的闭环系统——音圈电机执行器。主要用于电子半导体、生物医学、磁碟机、汽车工业、一般工业等场合。可做高频运动：可达每秒钟30次往返运动 主要特性 1、高响应、加速度可达20g、高速度、体积小； 2、高分辨率：0.1 μ m直线，25秒旋转 3、全闭环：内含编码器反馈； 4、可编的位置、速度、力控制。 线性执行器特征旋转执行器特征 行程：6—150mm 推力：0.03—1.0NM 分辨率：5，1，0.5，0.1 μ 速度：150—5000rpm 推力：10—500N(1—50Kgf)，Z小可控制到50毫牛顿（50mg）分辨率：0.07（零背隙齿轮），0.007degrees(直接驱动) 加速度：5—20G 多角度旋转 内建有Through-the-rod真空回路 可立即安装，编写程式驱动 内含回零/限位开关 型号选择

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