SRP-4探针（CMI563,CMI700测厚仪用）

SRP-4面铜探头
　　产品特点:
　　CMI SRP-4探头配套于CMI760和CMI563；微电阻原理；用于精确测量表面镀铜厚度
　　CMI SRP-4探头应用:
　　配套于CMI760和CMI563；微电阻原理；用于精确测量表面镀铜厚度
　　CMI SRP-4探头参数:
　　测量范围：0.01-10mils

SRP-4面铜探头测试技术参数：
铜厚测量范围：
化学铜：10 μin – 500 μin （0.25 μm – 12.7 μm）
电镀铜：0.1 mil – 6 mil （2.5 μm – 152 μm）
线形铜可测试线宽范围：8 mil – 250 mil （203 μm – 6350 μm）
准确度：±1% （±0.1 μm）参考标准片
精确度：化学铜：标准差0.2 %；电镀铜：标准差0.5 %
分辨率：0.01 mils ≥ 1 mil, 0.001 mils <1 mil,
0.1 μm ≥ 10 μm, 0.01 μm < 10 μm, 0.001 μm < 1 μm